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Dissertations before 2000


1999
Hochempfindliche LIGA-Mikrospektrometersysteme für den Infrarotbereich. PhD dissertation.
Krippner, P.; Mohr, J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6346.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 2.7.1999 von Peter Krippner
Spatially-resolved x-ray spectroscopy at CAMD. PhD dissertation.
Moelders, N.; Moser, H. O.; Saile, V.; Schilling, P. J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6314.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 15.4.1999 von Nicholas Mölders
Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern. PhD dissertation.
Mueller, K.-D.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6254.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.10.1998
Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik. PhD dissertation.
Ziegler, P.; Wengelink, J.; Mohr, J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6344.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.6.1999 von Patrick Ziegler
1998
Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists. PhD dissertation.
Chung, S.-J.; Hein, H.; Schulz, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6111.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.4.1998 von Song-Jo Chung
Entwicklung, Herstellung und Erprobung mikromechanischer Druck- und Durchflußsensoren für pneumatische Anwendungen. PhD dissertation.
Martin, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6222.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.12.1998
Entwicklung fluidischer Mikrogelenke. PhD dissertation.
Schwoerer, M.; Kohl, M.; Menz, W.; Saile, V.
1998. doi:10.5445/IR/60398
Entwicklung von Mikromembranaktoren mit NiTi-Formgedächtnislegierungen. PhD dissertation.
Skrobanek, K. D.; Hagena, O.-F.; Kohl, M.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6052.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.7.1997 von Klaus Dietmar Skrobanek
Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Zanghellini, J.; El-Kholi, A.; Mohr, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6114.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.5.1998 von Jürgen Zanghellini
1997
Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen für pneumatische Anwendungen. PhD dissertation.
Goll, C.; Bacher, W.; Menz, W.; Schomburg, W. K.
1997. Karlsruhe 1997. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5902.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 4.2.1997 von Claudia Goll
1995
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung. PhD dissertation.
Both, A. B.; Bacher, W.; Heckele, M.; Ruprecht, R.
1995. doi:10.5445/IR/26695
Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. PhD dissertation.
Koehler, U.; Guber, A.; Bier, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler
Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Leyendecker, K.; Bacher, W.; Bade, K.; Stark, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5594.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 13.2.1995 von Klaus Leyendecker
Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Mueller, C.; Mohr, J.
1995. doi:10.5445/IR/46095
Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Thommes, A.; Stark, W.; Bacher, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5586.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 11.7.1994 von Alfons Thommes
1993
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern. PhD dissertation.
Michel, A.; Ruprecht, R.; Harmening, M.; Bacher, W.
1993
Konzeption, Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Rapp, R.; Schomburg, W. K.; Bley, P.
1993
1992
Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren. PhD dissertation.
Wallrabe, U.; Bley, P.; Mohr, J.
1992. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.1992. und (KfK. 5088.)
1991
Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Burbaum, C.; Mohr, J.
1991. Karlsruhe 1991. (KfK-Bericht. 4859.) und Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.2.1991 von Christoph Burbaum
1989
Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter. PhD dissertation.
Anderer, B.; Ehrfeld, W.; Mohr, J.
1989. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.12.1989. und (KfK-Bericht. 4702.)
Entwicklung und Erprobung einer beruehrungsfreien, statisch/dynamischen Wellendichtung mit geringem Sperrgasbedarf. PhD dissertation.
Ehrfeld, W.; Keller, W.; Seidel, D.
1989. KfK-4599 (Juli 89) Dissertation (W. Keller), Universitaet Karlsruhe 1989
Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen. PhD dissertation.
Harmening, M.; Ehrfeld, W.
1989. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 1.12.1989. (KfK-Bericht. Nr. 4711.)
Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung fuer die Roentgentiefenlithografie. PhD dissertation.
Maid, B.; Ehrfeld, W.; Hormes, J.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.
1989. KfK-4579 (Mai 89) Dissertation (B. Maid), Universitaet Bonn 1989