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Dissertations before 2000


1999
Hochempfindliche LIGA-Mikrospektrometersysteme für den Infrarotbereich. PhD dissertation.
Krippner, P.; Mohr, J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6346.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 2.7.1999 von Peter Krippner
Spatially-resolved x-ray spectroscopy at CAMD. PhD dissertation.
Moelders, N.; Moser, H. O.; Saile, V.; Schilling, P. J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6314.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 15.4.1999 von Nicholas Mölders
Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern. PhD dissertation.
Mueller, K.-D.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6254.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.10.1998
Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik. PhD dissertation.
Ziegler, P.; Wengelink, J.; Mohr, J.
1999. Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6344.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 7.6.1999 von Patrick Ziegler
1998
Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists. PhD dissertation.
Chung, S.-J.; Hein, H.; Schulz, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6111.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.4.1998 von Song-Jo Chung
Entwicklung, Herstellung und Erprobung mikromechanischer Druck- und Durchflußsensoren für pneumatische Anwendungen. PhD dissertation.
Martin, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6222.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.12.1998
Entwicklung fluidischer Mikrogelenke. PhD dissertation.
Schwoerer, M.; Kohl, M.; Menz, W.; Saile, V.
1998. doi:10.5445/IR/60398
Entwicklung von Mikromembranaktoren mit NiTi-Formgedächtnislegierungen. PhD dissertation.
Skrobanek, K. D.; Hagena, O.-F.; Kohl, M.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6052.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.7.1997 von Klaus Dietmar Skrobanek
Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Zanghellini, J.; El-Kholi, A.; Mohr, J.
1998. Karlsruhe 1998. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6114.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 8.5.1998 von Jürgen Zanghellini
1997
Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen für pneumatische Anwendungen. PhD dissertation.
Goll, C.; Bacher, W.; Menz, W.; Schomburg, W. K.
1997. Karlsruhe 1997. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5902.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 4.2.1997 von Claudia Goll
1995
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung. PhD dissertation.
Both, A. B.; Bacher, W.; Heckele, M.; Ruprecht, R.
1995. doi:10.5445/IR/26695
Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom. PhD dissertation.
Koehler, U.; Guber, A.; Bier, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5574.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.1.1995 von Uwe Köhler
Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Leyendecker, K.; Bacher, W.; Bade, K.; Stark, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5594.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 13.2.1995 von Klaus Leyendecker
Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Mueller, C.; Mohr, J.
1995. doi:10.5445/IR/46095
Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen. PhD dissertation.
Thommes, A.; Stark, W.; Bacher, W.
1995. Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5586.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 11.7.1994 von Alfons Thommes
1993
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern. PhD dissertation.
Michel, A.; Ruprecht, R.; Harmening, M.; Bacher, W.
1993
Konzeption, Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Rapp, R.; Schomburg, W. K.; Bley, P.
1993
1992
Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren. PhD dissertation.
Wallrabe, U.; Bley, P.; Mohr, J.
1992. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.1992. und (KfK. 5088.)
1991
Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Burbaum, C.; Mohr, J.
1991. Karlsruhe 1991. (KfK-Bericht. 4859.) und Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.2.1991 von Christoph Burbaum
Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik. PhD dissertation.
Kowanz, B.; Ehrfeld, W.
1991. Karlsruhe 1991. (KfK. 4886.) und Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.2.1991 von Bernd Kowanz
Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpassfiltern fuer das ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Roentgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung. PhD dissertation.
Ruprecht, R.; Bacher, W.
1991. Karlsruhe 1991. (KfK 4825.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.10.1990 von Robert Ruprecht
1989
Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter. PhD dissertation.
Anderer, B.; Ehrfeld, W.; Mohr, J.
1989. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.12.1989. und (KfK-Bericht. 4702.)
Entwicklung und Erprobung einer beruehrungsfreien, statisch/dynamischen Wellendichtung mit geringem Sperrgasbedarf. PhD dissertation.
Ehrfeld, W.; Keller, W.; Seidel, D.
1989. KfK-4599 (Juli 89) Dissertation (W. Keller), Universitaet Karlsruhe 1989
Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhoehe aus elektrisch isolierenden und leitfaehigen Kunststoffen. PhD dissertation.
Harmening, M.; Ehrfeld, W.
1989. Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 1.12.1989. (KfK-Bericht. Nr. 4711.)
Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung fuer die Roentgentiefenlithografie. PhD dissertation.
Maid, B.; Ehrfeld, W.; Hormes, J.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.
1989. KfK-4579 (Mai 89) Dissertation (B. Maid), Universitaet Bonn 1989