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Forschung

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten des Instituts für Mikrostrukturtechnik werden in sechs Bereichen durchgeführt, deren Benennung auch deren Arbeitsgebiet beschreibt (Organigramm des IMT).

Im Arbeitsgebiet „Optik und Photonik“ werden optische Komponenten und Systeme auf der Basis mikrooptischer Bänke, planarer Wellenleiter und röntgenoptischer Strukturen entwickelt. Zu deren Herstellung kommen die Röntgentiefenlithographie, die UV-Lithographie und verschiedene Replikationsverfahren zum Einsatz.

Mikro- und Nanofluidische Systeme mit integrierter (Bio)Sensorik werden für viele neuartige Anwendungen und Messaufgaben z. B. in den verschiedenen Bereichen der modernen Biologie und Medizin nachgefragt. Die Mitarbeiter und Mitarbeiterinnen der „Mikrofluidik“ entwickeln solche Systeme vom Laboraufbau bis hin zu Kleinserien, um solche Geräte kommerziell verfügbar zu machen.

Die „Replikation“ ist ein Arbeitsgebiet, das das Ziel verfolgt, Technologien für die Fertigung großer Stückzahlen mikro- und nanostrukturierter Komponenten in thermoplastischen Kunststoffen z. B. mittels Heißprägens und Nanoimprints zu entwickeln und in Kleinserien auch anzuwenden.

„Smart Materials and Devices“ ist ein Forschungsbereich, der sich auf die Herstellung, Charakterisierung und Nanostrukturierung multifunktionaler Schichten sowie auf deren Anwendungen in Aktor- und Sensorbauelementen spezialisiert hat.

Das Thema „Rastersonden-Technologien“ umfasst die Untersuchung mechanischer, physikalischer und chemischer Eigenschaften von Nano- und Mikrostrukturen.