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IMT-Organigramm
IMT-Organigramm

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Über uns

Das Institut für Mikrostrukturtechnik verfügt über eine in vielen Jahren gewonnene Expertise hinsichtlich der Strukturierung zahlreicher polymerer Werkstoffe und ausgewählter Metalle (insbesondere von Gold und Nickel) bis hinab in den Nanometerbereich. Unsere Technologien umfassen lithographische Strukturierungsverfahren (Elektronenstrahllithographie, Röntgen­tiefen­lithographie und UV-Lithographie) und Replikationsverfahren (Heißprägen, Thermo­formen und NanoImprint).

Für die Durchführung unserer Arbeiten stehen uns zahlreiche Herstellungsprozesse, Prüfverfahren und modernste Geräte zur Verfügung, die überwiegend in unseren insgesamt ca. 500 m² großen Reinräumen untergebracht sind.

Unsere zentralen Arbeitsgebiete sind die Mikrooptik und die Mikrofluidik sowie deren Verknüpfung miteinander. Wir entwickeln mikrooptische Systeme wie zum Beispiel Mikrointerferometer und wellenleiterbasierte Systeme und kombinieren diese mit mikrofluidischen Komponenten. Ein besonders interessantes und gefragtes Teilgebiet der Mikrooptik ist die Entwicklung und Herstellung von Optiken für Röntgenstrahlen für die wir Linsensysteme und Gitterstrukturen mit anspruchsvollen Aspektverhältnissen und Präzisionsanforderungen anfertigen. Die Arbeiten auf dem Gebiet der Mikrofluidik haben zum Ziel, Analysegeräte auf der Basis von Lab‑on‑Chip-Konzepten zu entwickeln sowie die massiv-parallele Verarbeitung von Analyten in Systemen mit sehr hohen Durchflüssen zu ermöglichen. Über diese Arbeitsgebiete hinaus werden am Institut explorativ Ansätze zur Strukturierung von Nanoaktoren und nanomechanischen Komponenten verfolgt.

Die Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter des Instituts für Mikrostrukturtechnik sind mit ihren Arbeiten in die Programme STN (Science and Technology of Nanosystems)BioInterfaces und PNI (Photonen, Neutronen und Ionen) der Helmholtzgemeinschaft eingeordnet. Die technische Infrastruktur und das Know-How der Mitarbeiter des Instituts stehen im Rahmen der Technologieplattform Karlsruhe NANO MICRO Facility (KNMF) der wissenschaftlich-technischen Öffentlichkeit aus Industrie und Forschung in Kooperationen zur Verfügung.

Das Institut für Mikrostrukturtechnik ging 1988 aus dem früheren Institut für Kernverfahrens­technik hervor. In den 80er-Jahren wurden mikrostrukturierte Bauteile für Trenn­düsen benötigt und mittels lithographischer und galvanischer Methoden hergestellt. Diese Aufgaben­stellung führte zur Erfindung des LIGA-Verfahrens und nachdem die Arbeiten zum Trenn­düsen­verfahren einge­stellt wurden zur Geburtsstunde des heutigen Instituts für Mikrostruktur­technik und damit zu einem Forschungsschwerpunkt des damaligen Kernforschungs­zentrums und heutigen Karlsruher Institut für Technologie (KIT).

Bereits seit seiner Gründung Ende der 50er Jahre ist das Institut ein Gemeinschaftsinstitut der damaligen Universität Karlsruhe und der Reaktorstation Karlsruhe und damit ein Vorreiter der KIT-Idee und der KIT-Strategie. Schon dadurch ist die Beteiligung des Instituts an der universitären Lehre und Ausbildung seit seiner Gründung fest etabliert. Wir bieten Lehr­veranstaltungen, Dissertationen und die Durchführung studentischer Arbeiten in ihrer ganzen Vielfalt an. Die Verbindung wissenschaftlich-technischer Exzellenz mit Lehre und Ausbildung bleibt weiterhin ein wichtiges Ziel und eine wichtige Aufgabe des IMT im KIT.