Introduction to Microsystem Technology I
- Type: Lecture
- Chair: Department of Mechanical Engineering
- Semester: WS 21/22
-
Time:
Thu, 14:00 - 15:30 weekly
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
21.10.2021
14:00 - 15:30
28.10.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
04.11.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
11.11.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
18.11.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
25.11.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
02.12.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
09.12.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
16.12.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
23.12.2021
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
13.01.2022
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
20.01.2022
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
27.01.2022
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
03.02.2022
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2)
10.02.2022
14:00 - 15:30
10.91 Grashof-Hörsaal, 10.91 Maschinenbau, Altes Maschinenbaugebäude (OG 2) - Start: 21.10.2021
- Lecturer:
- SWS: 2
- Lv-No.: 2141861
- Exam: written exam
-
Information:
Blended (On-Site/Online)
Exams and practical exercises take place in the semester breaks.
The practical exercise takes place in the week after Ash Wednesday.
Registration for the practical exercise via email to mst@imt.kit.edu.
Next exams:
76-T-MACH-105183 Grundlagen der Mikrosystemtechnik II - 01.09.2021 - 11:00 - 12:00 (Zugang ab 10:30) - Zelt auf dem Forum (großes Zelt)
76-T-MACH-105182 Grundlagen der Mikrosystemtechnik I - 01.09.2021 - 14:30 - 15:30 (Zugang ab 14:00) - Zelt auf dem Forum (großes Zelt)
76-T-MACH-102164 Praktikum zu Grundlagen der Mikrosystemtechnik - 30.09.2021, 10:30 bis 11:30 Uhr in Geb. 20.40 Fritz-Haller Hörsaal (HS37)
Lecture language: English
Learning Goals
The lecture gives an introduction into the basics of microsystems technology. In analogy to processes employed in fabrication of microelectronics circuits the core technologies as well as materials for producing microstructures and components are presented. Finally, various techniques for Silicon micromachining are explained and illustrated with examples for micro-components and micro-systems.
Content of teaching
- Introduction in Nano- and Microtechnologies
- Silicon and processes for fabricating microelectronics circuits
- Basic physics background and crystal structure
- Materials for micromachining
- Processing technologies for microfabrication
- Silicon micromachining
- Examples
Bibliography
M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
Taylor & Francis Ltd.; Auflage: 3. Auflage. 2011