https://www.imt.kit.edu/wiki/api.php?action=feedcontributions&feedformat=atom&user=Andreas.Bacher 2026-05-13T12:43:28Z User contributions MediaWiki 1.39.17 https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Elektronenstrahlschreiber_VB6_UHR-EWF&diff=2029 2013-06-17T13:22:16Z

<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Fertigungmittelnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP280310.00<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung: 0,5nm '''(Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - &lt;u&gt;nicht&lt;/u&gt; kleinstes schreibbares Feature!)'''<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> * keine Substrate grösser 6&quot;<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Andreas Bacher ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:&lt;Bilddatei&gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E 7<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Ebeam Operator, Layouterstellung /-prozessierung, REM<br /> <br /> '''Raum''': 126<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Telefon''': 0721 608 2 8058<br /> <br /> '''e-mail''': Andreas.Bacher@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]] <br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Ich bin Operator des [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreibers]], den man durch die Glasscheiben in Halle 301 bei der Arbeit sehen kann - also zeitweise sogar uns beide gemeinsam. &lt;br/&gt;<br /> Ausserdem bin ich für die Erstellung, Modifizierung, Kontrolle und Prozessierung von 2D-Layouts mit AutoCAD und LayoutEditor zuständig, die ich (zumindest zum Grossteil) dann am [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreiber]] umsetze.&lt;br/&gt;<br /> Belackungen von Substraten für die Belichtung am [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreiber]] übernimmt von unserer ([[F&amp;E7]]) Seite in der Regel [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]], aber auch ich bin im Falle des Falles dazu in der Lage.&lt;br/&gt;<br /> Die Sprühentwicklung der belichteten Substrate und die Zuständigkeit für den [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]] teilen wir unter uns auf. <br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> <br /> * [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]<br /> * [[4-TEC Plasmaätzer]]<br /> * [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP]]<br /> * Stempel und Stempelkissen für die offizielle Freigabe von Layouts<br /> <br /> === Software ===<br /> AutoCAD, LayoutEditor, LayoutBEAMER<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> Räumungsverantwortlicher für Halle 307 (EG)</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Andreas Bacher ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:&lt;Bilddatei&gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E 7<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Ebeam Operator, Layouterstellung /-prozessierung, REM<br /> <br /> '''Raum''': 126<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Telefon''': 0721 608 2 8058<br /> <br /> '''e-mail''': Andreas.Bacher@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]] <br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Ich bin Operator des [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreibers]], den man durch die Glasscheiben in Halle 301 bei der Arbeit sehen kann - also zeitweise sogar gemeinsam. &lt;br/&gt;<br /> Ausserdem bin ich für die Erstellung, Modifizierung, Kontrolle und Prozessierung von 2D-Layouts mit AutoCAD und LayoutEditor zuständig, die ich (zumindest zum Grossteil) dann am [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreiber]] umsetze.&lt;br/&gt;<br /> Belackungen von Substraten für die Belichtung am [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF|Elektronenstrahlschreiber]] übernimmt von unserer ([[F&amp;E7]]) Seite in der Regel [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]], aber auch ich bin im Falle des Falles dazu in der Lage.&lt;br/&gt;<br /> Die Sprühentwicklung der belichteten Substrate und die Zuständigkeit für den [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]] teilen wir unter uns auf. <br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> <br /> * [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]<br /> * [[4-TEC Plasmaätzer]]<br /> * [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP]]<br /> * Stempel und Stempelkissen für die offizielle Freigabe von Layouts<br /> <br /> === Software ===<br /> AutoCAD, LayoutEditor, LayoutBEAMER<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> Räumungsverantwortlicher für Halle 307 (EG)</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Fertigungmittelnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP280310.00<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung: 0,5nm '''(Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - &lt;u&gt;nicht&lt;/u&gt; kleinstes schreibbares Feature!)'''<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Fertigungmitelsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP280310.00<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung: 0,5nm '''(Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - &lt;u&gt;nicht&lt;/u&gt; kleinstes schreibbares Feature!)'''<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP280310.00<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung: 0,5nm '''(Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - &lt;u&gt;nicht&lt;/u&gt; kleinstes schreibbares Feature!)'''<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP280310.00<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung ('''nicht kleinstes schreibbares Feature!'''): 1nm<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Andreas Bacher ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:&lt;Bilddatei&gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E 7<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Ebeam Operator, Layouterstellung /-prozessierung, REM<br /> <br /> '''Raum''': 126<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Telefon''': 0721 608 2 8058<br /> <br /> '''e-mail''': Andreas.Bacher@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]] <br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> * EBeam - Bedienung<br /> * Layouterstellung (CAD)<br /> * Daten Prozessierung<br /> * Erstellen von Pythonskripts<br /> * Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> <br /> * [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]<br /> * [[4-TEC Plasmaätzer]]<br /> * [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP]]<br /> <br /> <br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> Räumungsverantwortlicher für Halle 307 (EG)</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP-XXXX<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung ('''nicht kleinstes schreibbares Feature!'''): 1nm<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> <br /> = Seite noch im Aufbau! =<br /> <br /> <br /> <br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP-XXXX<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung ('''nicht kleinstes schreibbares Feature!'''): 1nm<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> '''Seite noch im Aufbau!'''<br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP-XXXX<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung ('''nicht kleinstes schreibbares Feature!'''): 1nm<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> [[important_<br /> [[Datei:VB6.jpg|250px|thumb|right|Elektronenstrahlschreiber]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF<br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]], [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] / [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> '''Standort:''' Bau 301 Räume 107.8 - 107.10 <br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0249<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP-XXXX<br /> <br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> <br /> <br /> == Alternativen ==<br /> keine<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> * Beschleunigungsspannung: 100keV<br /> * theoretische Auflösung ('''nicht kleinstes schreibbares Feature!'''): 1nm<br /> * kleinster Strahldurchmesser: 4nm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> * Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div></div>

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<p>Andreas.Bacher: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Andreas Bacher ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:&lt;Bilddatei&gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E 7<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Ebeam Operator, Layouterstellung /-prozessierung<br /> <br /> '''Raum''': 126<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Telefon''': 0721 608 2 8058<br /> <br /> '''e-mail''': Andreas.Bacher@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]] <br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> * EBeam - Bedienung<br /> * Layouterstellung (CAD)<br /> * Daten Prozessierung<br /> * Erstellen von Pythonskripts<br /> * Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> <br /> * [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]<br /> * [[4-TEC Plasmaätzer]]<br /> * [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP]]<br /> <br /> <br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> Räumungsverantwortlicher für Halle 307 (EG)</div>

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