https://www.imt.kit.edu/wiki/api.php?action=feedcontributions&feedformat=atom&user=Birgit.Huebner IMT-Wiki - User contributions [en] 2026-05-07T04:57:40Z User contributions MediaWiki 1.39.17 https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Kleberoboter/English&diff=4015 Kleberoboter/English 2016-02-05T11:36:16Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>&lt;!--<br /> If you want to use pictures on this page, use the file upload command on the sidebar.<br /> Please try to keep the file size below 100kB.<br /> You can adjust the width of the image by changing the following parameter<br /> &lt;Display width in pixel&gt; = 300px<br /> The &lt;&gt; are placeholder symbols and are not part of the actual syntax command.<br /> --&gt;<br /> <br /> [[Datei:Reinraum_Sicherheit_001.jpg|250px|thumb|right|&lt; Gluing Robot &gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' Gluing Robot<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132c<br /> <br /> '''Device designation:''' VS 0829<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> The Gluing Robot is a three-axis-table-robot (Janome JR 2400) of GLT-Pforzheim and it can be used to stick PMMA-resist foils onto wafers and insert moulds.<br /> <br /> For this you use a glue of 4 components (PMMA-solution, BPO, MEMO and DMA).<br /> <br /> (work instruction: AA665)<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> The process gas is argon.<br /> <br /> Nitrogen is required to operate the robot.<br /> <br /> The robot is programmed by the software JR Points version 4.6.<br /> <br /> operating range: 400 x 400 x 150 mm<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> Standard successfully processes are:<br /> <br /> gluing PMMA-foils on:<br /> <br /> * 4&quot;, 6&quot; - silicon wafers<br /> <br /> * 4&quot; - ceramics wafers<br /> <br /> * 4&quot; - glass wafers<br /> <br /> <br /> The foils can have a thickness of 100 µm to 3 mm.<br /> <br /> <br /> The usual foil sizes are:<br /> <br /> * 75 x 30 mm²<br /> <br /> * 63 x 23 mm²<br /> <br /> * round foils with flat/ without flat and a diameter of 80 mm²<br /> <br /> * the smallest possible foil which you can glue on has a size of 59 x 19 mm²<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> The robot is used exclusively for the PMMA adhesive mixture.<br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=4014 User:Birgit.Huebner/English 2016-02-05T11:29:37Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': Core Technologies (CTE) <br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee in microfabrication and Mrs Julia Wolfs' substitute in the field of developing.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-clean room]])<br /> <br /> Anyone who wants to bring chemicals into the clean room has to contact me and to register their chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> * glue on resist foils (with the three-axis-table-robot, the thickness of foils can be 100 µm to 3 mm)<br /> * resist casting on Invar-mask blanks and 4&quot; wafers<br /> * casting of mould inserts<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying with cyclohexane<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical developing of irradiated resists (per pro.)<br /> * wet-chemical etching with KOH and hydrofluoric acid (HF)<br /> * gluing of fibre glass in V-ditches on Si-wafers<br /> * organisation of the resist laboratory<br /> * management of the ChemA for the clean room area<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Resistlabor&diff=3988 Resistlabor 2016-01-25T08:07:08Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/english|English version]]<br /> <br /> '''Das Resistlabor des IMT'''<br /> <br /> Das Resistlabor ist ein Teil des IMT - Reinraums der Klasse ISO 7(nach DIN EN ISO 14644). <br /> Dieser Raum ist dem Funktionsbereich [[Core Technologies (CTE)]] zugeordnet. <br /> Hier befindet sich unter anderem der [[Kleberoboter]], die [[Nassprozessanlage]] zum Entwickeln, sowie die [[Gefriertrocknungsanlage]] mit Cyclohexan.<br /> <br /> Das IMT-Resistlabor kann nur mit Genehmigung von CTE selbstständig genutzt werden. [[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]<br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> [[Kategorie: Infrastruktur]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=3968 User:Birgit.Huebner/English 2016-01-22T07:49:30Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': Core Technologies (CTE) <br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-clean room]])<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> * glue on resist foils (with the three-axis-table-robot, the thickness of foils can be 100 µm to 3 mm)<br /> * resist casting on Invar-mask blancs and 4&quot; wafers<br /> * casting of mould inserts<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying with cyclohexane<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical developing of irradiated resists (per pro.)<br /> * wet-chemical etching with KOH and hydrofluoric acid (HF)<br /> * gluing of fibre glass in V-ditches on Si-wafers<br /> * organisation of the resist laboratory<br /> * management of the ChemA for the clean room area<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner&diff=3967 User:Birgit.Huebner 2016-01-22T07:46:28Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE) <br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA<br /> <br /> '''Raum''': 252 <br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Telefon''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),<br /> <br /> Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.<br /> <br /> * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)<br /> * Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4&quot;-Wafer<br /> * Vergießen von Formeinsätzen<br /> * Sputtern von C-Schichten<br /> * Gefriertrocknung mit Cyclohexan <br /> * Oxidation<br /> * Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)<br /> * Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor<br /> * Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern<br /> * Mitorganisation des Resistlabors<br /> * Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> * Resistkleben<br /> * C-Sputtern<br /> * Gefriertrocknung<br /> * Oxidieren<br /> * Nasschemisches Ätzen<br /> * Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> * JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * PMMA-Folien<br /> * Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner&diff=3966 User:Birgit.Huebner 2016-01-22T07:44:30Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE) <br /> '''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA<br /> <br /> '''Raum''': 252 <br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Telefon''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Mitarbeiterin der Mikrofertigung,<br /> <br /> Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.<br /> <br /> * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)<br /> * Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4&quot;-Wafer<br /> * Vergießen von Formeinsätzen<br /> * Sputtern von C-Schichten<br /> * Gefriertrocknung mit Cyclohexan <br /> * Oxidation<br /> * Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)<br /> * Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor<br /> * Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern<br /> * Mitorganisation des Resistlabors<br /> * Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> * Resistkleben<br /> * C-Sputtern<br /> * Gefriertrocknung<br /> * Oxidieren<br /> * Nasschemisches Ätzen<br /> * Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> * JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * PMMA-Folien<br /> * Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2604 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-11T08:28:54Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Zeit_Drucksteuergeraet.jpg|250px|thumb|right|&lt;time-pressure-control device&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' time pressure control device<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' RS 0275 - RS 0278<br /> <br /> und RS 0295 - RS 0297<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> We have 7 single wafer presses.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The presses have a set pressure up to 6 bar and you can set the run-time.<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> It's for pressing glued substrates:<br /> <br /> * 4&quot;, 6&quot; - silicon wafer<br /> <br /> * 4&quot; - ceramic wafer<br /> <br /> * 4&quot; - glass wafer<br /> <br /> * mould inserts<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2603 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-11T08:28:13Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Zeit_Drucksteuergeraet.jpg|250px|thumb|right|&lt;Zeit-Druck-Steuergerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' time pressure control device<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' RS 0275 - RS 0278<br /> <br /> und RS 0295 - RS 0297<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> We have 7 single wafer presses.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The presses have a set pressure up to 6 bar and you can set the run-time.<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> It's for pressing glued substrates:<br /> <br /> * 4&quot;, 6&quot; - silicon wafer<br /> <br /> * 4&quot; - ceramic wafer<br /> <br /> * 4&quot; - glass wafer<br /> <br /> * mould inserts<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2602 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-11T08:26:55Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Zeit_Drucksteuergeraet.jpg|250px|thumb|right|&lt;Zeit-Druck-Steuergerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' RS 0275 - RS 0278<br /> <br /> und RS 0295 - RS 0297<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> We have 7 single wafer presses.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The presses have a set pressure up to 6 bar and you can set the run-time.<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> It's for pressing glued substrates:<br /> <br /> * 4&quot;, 6&quot; - silicon wafer<br /> <br /> * 4&quot; - ceramic wafer<br /> <br /> * 4&quot; - glass wafer<br /> <br /> * mould inserts<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2599 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-08T10:30:43Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Zeit_Drucksteuergeraet.jpg|250px|thumb|right|&lt;Zeit-Druck-Steuergerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' RS 0275 - RS 0278<br /> <br /> und RS 0295 - RS 0297<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> We have 7 single wafer presses.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> It's for pressing glued substrates:<br /> <br /> * 4&quot;, 6&quot; - silicon wafer<br /> <br /> * 4&quot; - ceramic wafer<br /> <br /> * 4&quot; - glass wafer<br /> <br /> * mould inserts<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2598 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-08T10:19:14Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Zeit_Drucksteuergeraet.jpg|250px|thumb|right|&lt;Zeit-Druck-Steuergerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' <br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> Nitrogen is used to ventilate the vacuum chamber.<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> * 4&quot; - silicon substrate <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Zeit-Drucksteuerger%C3%A4t/English&diff=2597 Zeit-Drucksteuergerät/English 2013-11-08T10:18:22Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „&#039;&#039;&#039;Device name:&#039;&#039;&#039; &#039;&#039;&#039;Operator/Responsible for this device:&#039;&#039;&#039; Birgit Hübner, Julia Wolf &#039;&#039;&#039;Position:&#039;&#039;&#039; building 307, room 132 c &#039;&#039;&#039;Device designation:&#039;&#039;&#039; …“</p> <hr /> <div>'''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner, Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307, room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' <br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> Nitrogen is used to ventilate the vacuum chamber.<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> * 4&quot; - silicon substrate <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Laserbeschriftungsger%C3%A4t/English&diff=2594 Laserbeschriftungsgerät/English 2013-11-08T08:02:23Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Resistlabor_016_(Small).jpg|250px|thumb|right|&lt;device for laser marking&gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' device for laser marking (Scriba-10121)<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Timo Heneka<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 137<br /> <br /> '''Device designation:''' BS 0238<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> '''Producer:''' Electrox<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> This device is used for laser marking of silicon-, ceramics-, glass- wafers,<br /> <br /> Cu-baseplates and Invar-maskblancs.<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The operating range - diameter is: 90 mm<br /> <br /> with an accuracy of 0,2 mm.<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Timo.Heneka | Heneka, Timo]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Laserbeschriftungsger%C3%A4t/English&diff=2593 Laserbeschriftungsgerät/English 2013-11-08T07:41:26Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Resistlabor_016_(Small).jpg|250px|thumb|right|&lt;LaserBeschrifter&gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' (Scriba-10121)<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Timo Heneka<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 137<br /> <br /> '''Device designation:''' BS 0238<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> '''Producer:''' Electrox<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Timo.Heneka | Heneka, Timo]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Laserbeschriftungsger%C3%A4t/English&diff=2592 Laserbeschriftungsgerät/English 2013-11-08T07:39:52Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „&lt; robot for gluing &gt; &#039;&#039;&#039;Device name:&#039;&#039;&#039; (Scriba-10121) &#039;&#039;&#039;Operator/Responsible for this device:&#039;&#039;&#039; Timo…“</p> <hr /> <div>[[Datei:Reinraum_Sicherheit_001.jpg|250px|thumb|right|&lt; robot for gluing &gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' (Scriba-10121)<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Timo Heneka<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 137<br /> <br /> '''Device designation:''' BS 0238<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> '''Producer:''' Electrox<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Timo.Heneka | Heneka, Timo]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Ultraschallreinigungsger%C3%A4t:_Sonorex/English&diff=2591 Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex/English 2013-11-07T10:53:34Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Ultraschallreinigungsgerät.jpg|250px|thumb|right|&lt;Ultraschallreinigungsgerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' ultrasonic cleaning system Sonorex Digital 10P<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 148<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0253<br /> <br /> '''Producer:''' Bandelin electronic<br /> <br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> It's an ultrasonic control unit which is program- and thermostat- controlled.<br /> <br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> * There is a program memory of 10 programs.<br /> <br /> * The tank can be filled with 3 liters.<br /> <br /> * The time adjustment is possible from 1 to 99 min.<br /> <br /> * The heating is thermostat-controlled from 20 to 80 °C and has a setting accuracy of &amp;plusmn; 1,5 K.<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Ultraschallreinigungsger%C3%A4t:_Sonorex/English&diff=2590 Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex/English 2013-11-07T10:52:22Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Ultraschallreinigungsgerät.jpg|250px|thumb|right|&lt;Ultraschallreinigungsgerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' ultrasonic cleaning system Sonorex Digital 10P<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 148<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0253<br /> <br /> '''Producer:''' Bandelin electronic<br /> <br /> == Short Description ==<br /> It's an ultrasonic control unit which is program- and thermostat- controlled.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> * There is a program memory of 10 programs.<br /> <br /> * The tank can be filled with 3 liters.<br /> <br /> * The time adjustment is possible from 1 to 99 min.<br /> <br /> * The heating is thermostat-controlled from 20 to 80 °C and has a setting accuracy of &amp;plusmn; 1,5 K.<br /> <br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Ultraschallreinigungsger%C3%A4t:_Sonorex/English&diff=2589 Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex/English 2013-11-07T10:40:06Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Ultraschallreinigungsgerät.jpg|250px|thumb|right|&lt;Ultraschallreinigungsgerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' ultrasonic cleaning system<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 148<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0253<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Ultraschallreinigungsger%C3%A4t:_Sonorex/English&diff=2588 Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex/English 2013-11-07T10:23:35Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Ultraschallreinigungsgerät.jpg|250px|thumb|right|&lt;Ultraschallreinigungsgerät&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 148<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0253<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Ultraschallreinigungsger%C3%A4t:_Sonorex/English&diff=2587 Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex/English 2013-11-07T10:22:12Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „[[Datei: &#039;&#039;&#039;Device name:&#039;&#039;&#039; &#039;&#039;&#039;Operator/Responsible for this device:&#039;&#039;&#039; Birgit Hübner &#039;&#039;&#039;Position:&#039;&#039;&#039; building 309, room 148 &#039;&#039;&#039;Device designation:&#039;&#039;&#039; SL 0…“</p> <hr /> <div>[[Datei:<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Birgit Hübner<br /> <br /> '''Position:''' building 309, room 148<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0253<br /> <br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Laserbeschriftungsger%C3%A4t&diff=2586 Laserbeschriftungsgerät 2013-11-07T10:13:26Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls Bilder angezeigt werden sollen, müssen die entsprechenden Dateien erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Dateigröße, ideal wäre &lt;100kB<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Resistlabor_016_(Small).jpg|250px|thumb|right|&lt;LaserBeschrifter&gt;]]<br /> <br /> '''Gerätebezeichnung:''' Laserbeschriftungsgerät <br /> <br /> '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' Timo Heneka<br /> <br /> '''Standort:''' Bau 309, Raum 137<br /> <br /> '''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' BS 0238<br /> <br /> '''Spezifikations-Nummer:''' SP-XXXX<br /> <br /> '''Hersteller:''' Firma Electrox<br /> <br /> '''Fabrikat-Nr.:''' Scriba-10121<br /> <br /> == Kurzbeschreibung ==<br /> Der Laserbeschrifter dient zur Beschriftung von Si -, Keramik -, Glas - Wafern, Cu-Grundplatten, Invar - Maskenblanks.<br /> <br /> == Alternativen ==<br /> <br /> == Spezifikationen des Geräts ==<br /> <br /> Arbeitsbereich - Durchmesser: 90 mm<br /> <br /> Genauigkeit: 0,2 mm<br /> <br /> == Etablierte Prozesse ==<br /> <br /> == Einschränkungen ==<br /> <br /> == Eingewiesene Nutzer ==<br /> [[Benutzer:Timo.Heneka | Heneka, Timo]] <br /> <br /> <br /> [[Kategorie:Geräte - Devices]]<br /> [[Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=H%C3%B6hentaster_MT_60M/English&diff=2585 Höhentaster MT 60M/English 2013-11-07T09:58:41Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Höhentaster_MT60.JPG|250px|thumb|right|&lt;device for height measurement&gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' device for height measurement<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' HO 0018<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> Manually operated height measurement from firm &quot;Heidenhain GmbH&quot;<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The measuring range is from 0 to 60 mm.<br /> <br /> The device has got a pencil-shaped gauge slide (1,5 mm x 10,0 mm)<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> The device is used for measuring the layer thickness of PMMA foils for resist gluing.<br /> <br /> It's also used for measuring the layer thickness of glued resists.<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=H%C3%B6hentaster_MT_60M/English&diff=2584 Höhentaster MT 60M/English 2013-11-07T08:50:13Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:Höhentaster_MT60.JPG|250px|thumb|right|&lt;Höhentaster HO 0018&gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:'''<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' HO 0018<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=H%C3%B6hentaster_MT_60M/English&diff=2583 Höhentaster MT 60M/English 2013-11-07T08:49:37Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „[[Datei: &#039;&#039;&#039;Device name:&#039;&#039;&#039; &#039;&#039;&#039;Operator/Responsible for this device:&#039;&#039;&#039; Julia Wolf &#039;&#039;&#039;Position:&#039;&#039;&#039; building 307 , room 132 c &#039;&#039;&#039;Device designation:&#039;&#039;&#039; HO 0018…“</p> <hr /> <div>[[Datei:<br /> <br /> '''Device name:'''<br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' HO 0018<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Nassprozessanlage/English&diff=2582 Nassprozessanlage/English 2013-11-07T08:37:41Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:nassprozessanlage.jpg|250px|thumb|right|&lt;mechanical equipment of development&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:'''mechanical equipment of development <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0252<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> This mechanical equipment of development from firm &quot;Ritter Anlagenbau GmbH&quot; is used for development of masks.<br /> <br /> You can use it with mega-verberation.<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> You can also make the wet-development in a beaker glass.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The runtime is programmable and the construction is equipped with signalling device.<br /> <br /> The set-point temperature of the solutions is 23°C.<br /> <br /> At the moment we rinse with the solutions of water and BDG.<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Martin.Boerner | Börner, Martin]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Nassprozessanlage/English&diff=2581 Nassprozessanlage/English 2013-11-07T08:35:33Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:nassprozessanlage.jpg|250px|thumb|right|&lt;Nassprozessanlage zum Entwickeln&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:'''mechanical equipment of development <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0252<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> This mechanical equipment of development from firm &quot;Ritter Anlagenbau GmbH&quot; is used for development of masks.<br /> <br /> You can use it with mega-verberation.<br /> <br /> == Alternatives ==<br /> You can also make the wet-development in a beaker glass.<br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> The runtime is programmable and the construction is equipped with signalling device.<br /> <br /> The set-point temperature of the solutions is 23°C.<br /> <br /> At the moment we rinse with the solutions of water and BDG.<br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Martin.Boerner | Börner, Martin]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Nassprozessanlage/English&diff=2580 Nassprozessanlage/English 2013-11-07T07:42:29Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:nassprozessanlage.jpg|250px|thumb|right|&lt;Nassprozessanlage zum Entwickeln&gt;]]<br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0252<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Martin.Boerner | Börner, Martin]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Nassprozessanlage/English&diff=2579 Nassprozessanlage/English 2013-11-07T07:41:33Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:.jpg|250px|thumb|right|&lt; &gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' SL 0252<br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Martin.Boerner | Börner, Martin]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Nassprozessanlage/English&diff=2575 Nassprozessanlage/English 2013-11-06T10:24:03Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „&lt; &gt; &#039;&#039;&#039;Device name:&#039;&#039;&#039; &#039;&#039;&#039;Operator/Responsible for this device:&#039;&#039;&#039; Julia Wolf &#039;&#039;&#039;Position:&#039;&#039;&#039; building 307 , room 132 c &#039;&#039;…“</p> <hr /> <div>[[Datei:.jpg|250px|thumb|right|&lt; &gt;]]<br /> <br /> <br /> '''Device name:''' <br /> <br /> '''Operator/Responsible for this device:''' Julia Wolf<br /> <br /> '''Position:''' building 307 , room 132 c<br /> <br /> '''Device designation:''' <br /> <br /> '''Specifiaction number:'''<br /> &lt;!-- Designation as per the list of fabrication and measurement devices list, (Fertigungs- und Prüfmittelliste) , e.g. (MI006) --&gt;<br /> <br /> == Short Description ==<br /> <br /> <br /> <br /> == Alternatives ==<br /> <br /> <br /> == Device Specifications ==<br /> <br /> <br /> == Established Processes ==<br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> <br /> == Restrictions ==<br /> <br /> <br /> == Instructed Users ==<br /> <br /> * [[Benutzer:Julia.Wolf | Wolf, Julia]]<br /> <br /> * [[Benutzer:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2574 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T10:07:43Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-clean room]])<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> * glue on resist foils (with the three-axis-table-robot, the thickness of foils can be 100 µm to 3 mm)<br /> * resist casting on Invar-mask blancs and 4&quot; wafers<br /> * casting of mould inserts<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying with cyclohexane<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical developing of irradiated resists (per pro.)<br /> * wet-chemical etching with KOH and hydrofluoric acid (HF)<br /> * gluing of fibre glass in V-ditches on Si-wafers<br /> * organisation of the resist laboratory<br /> * management of the ChemA for the clean room area<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2573 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T10:02:10Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> * glue on resist foils (with the three-axis-table-robot, the thickness of foils can be 100 µm to 3 mm)<br /> * resist casting on Invar-mask blancs and 4&quot; wafers<br /> * casting of mould inserts<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying with cyclohexane<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical developing of irradiated resists (per pro.)<br /> * wet-chemical etching with KOH and hydrofluoric acid (HF)<br /> * gluing of fibre glass in V-ditches on Si-wafers<br /> * organisation of the resist laboratory<br /> * management of the ChemA for the clean room area<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2572 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T09:52:56Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> * glue on resist foils (with the three-axis-table-robot, the thickness of foils can be 100 µm to 3 mm)<br /> * resist casting on Invar-mask blancs and 4&quot; wafers<br /> * casting of mould inserts<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying with cyclohexane<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical developing of irradiated resists (per pro.)<br /> * wet-chemical etching with KOH and hydrofluoric acid (HF)<br /> <br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2571 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T09:19:19Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning at IMT.<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner&diff=2570 User:Birgit.Huebner 2013-11-06T09:16:19Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF - Mikrofertigung<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA<br /> <br /> '''Raum''': 252 <br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Telefon''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Mitarbeiterin der Mikrofertigung,<br /> <br /> Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.<br /> <br /> * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)<br /> * Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4&quot;-Wafer<br /> * Vergießen von Formeinsätzen<br /> * Sputtern von C-Schichten<br /> * Gefriertrocknung mit Cyclohexan <br /> * Oxidation<br /> * Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)<br /> * Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor<br /> * Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern<br /> * Mitorganisation des Resistlabors<br /> * Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> * Resistkleben<br /> * C-Sputtern<br /> * Gefriertrocknung<br /> * Oxidieren<br /> * Nasschemisches Ätzen<br /> * Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> * JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * PMMA-Folien<br /> * Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner&diff=2569 User:Birgit.Huebner 2013-11-06T09:14:08Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF - Mikrofertigung<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA<br /> <br /> '''Raum''': 252 <br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Telefon''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Mitarbeiterin der Mikrofertigung,<br /> <br /> Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.<br /> <br /> * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)<br /> * Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4&quot;-Wafer<br /> * Vergießen von Formeinsätzen<br /> * Sputtern von C-Schichten<br /> * Gefriertrocknung mit Cyclohexan <br /> * Oxidation<br /> * Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)<br /> * Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor<br /> * Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern<br /> * Mitorganisation des Resistlabors<br /> * Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> * Resistkleben<br /> * C-Sputtern<br /> * Gefriertrocknung<br /> * Oxidieren<br /> * Nasschemisches Ätzen<br /> * Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> * JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * PMMA-Folien<br /> * Durimide<br /> <br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> <br /> == Werdegang im IMT ==<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2568 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T09:05:28Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Devices ==<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> == Processes ==<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> == Software ==<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> == Materials ==<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2567 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T09:03:58Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Devices ==<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> * gluing of resists<br /> * sputtering of carbon layers<br /> * freeze drying<br /> * oxidation<br /> * wet-chemical etching<br /> * wet-chemical developing<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2566 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T09:00:33Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> <br /> * ChemA - Administrator of the clean room area<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Devices ==<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the clean room area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2565 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:38:23Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> == Further jobs at the IMT ==<br /> <br /> Management of the ChemA for the clean room area at the IMT.<br /> <br /> Therefore everyone, who wants to bring chemicals into the clean room, has to contact me and to register his chemicals with the associated material safety data sheet.<br /> <br /> == Devices ==<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the clean room area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2564 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:33:05Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> === Devices ===<br /> <br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot of gluing)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materials ===<br /> * PMMA-foils<br /> * Durimide<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the cleanroom area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner&diff=2563 User:Birgit.Huebner 2013-11-06T08:26:52Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF - Mikrofertigung<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA<br /> <br /> '''Raum''': 252 <br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Telefon''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> <br /> Mitarbeiterin der Mikrofertigung,<br /> <br /> Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.<br /> <br /> * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)<br /> * Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4&quot;-Wafer<br /> * Vergießen von Formeinsätzen<br /> * Sputtern von C-Schichten<br /> * Gefriertrocknung mit Cyclohexan <br /> * Oxidation<br /> * Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)<br /> * Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor<br /> * Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern<br /> * Mitorganisation des Resistlabors<br /> * Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).<br /> <br /> Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Kleberoboter]]<br /> *[[Sputteranlage UNIVEX 500]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> *[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]<br /> *[[Nassprozessanlage]]<br /> *[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]<br /> *[[Messmikroskop Metalloplan HL]]<br /> *[[Höhentaster MT 60M]]<br /> *[[Analysenwaage AT 460]]<br /> *[[Vakuumofen Vacutherm]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 P]]<br /> *[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050]]<br /> *[[Zeit-Drucksteuergerät]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> * Resistkleben<br /> * C-Sputtern<br /> * Gefriertrocknung<br /> * Oxidieren<br /> * Nasschemisches Ätzen<br /> * Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> * JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)<br /> * AnalySIS<br /> * MS Office<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * PMMA-Folien<br /> * Durimide<br /> <br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> <br /> <br /> == Werdegang im IMT ==<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2562 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:25:24Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> Due to my part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * JR Points (version 4.6 - Software for the robot for gluing)<br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the cleanroom area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2561 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:20:56Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> Due to I'm having a part-time job, I'm only in the morning in the IMT.<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the cleanroom area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2560 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:15:49Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Working Group Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> I'm an employee of the microfabrication and the substitute of Mrs Julia Wolf in the field of developing.<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> I'm a chemical loboratory assistant.<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator of the cleanroom area</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2559 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:10:15Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2558 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:07:53Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, laboratory for etching, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''mailto''': birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2557 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:04:14Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, etch laboratory, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2556 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T08:01:52Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>== Birgit Hübner ==<br /> [[Datei:Huebner.jpg|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, etch laboratory, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''':<br /> *[[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2555 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T07:59:00Z <p>Birgit.Huebner: </p> <hr /> <div>[[Datei:.jpg|200px|thumb|rechts|Birgit Hübner]]<br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> <br /> '''Research Field''': resist laboratory, etch laboratory, ChemA<br /> <br /> '''Bau''': 310<br /> <br /> '''Raum''': 252<br /> <br /> '''Telephone''': 0721/608-22601<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''':<br /> *[[Benutzer:Julia.Wolf|Wolf, Julia]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> <br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * <br /> *<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * ChemA - Administrator</div> Birgit.Huebner https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Birgit.Huebner/English&diff=2554 User:Birgit.Huebner/English 2013-11-06T07:53:28Z <p>Birgit.Huebner: Die Seite wurde neu angelegt: „Birgit Hübner == Birgit Hübner == &#039;&#039;&#039;Department&#039;&#039;&#039;: MF - Microfabrikation &#039;&#039;&#039;Research Field&#039;&#039;&#039;: resist laboratory, etch labo…“</p> <hr /> <div>[[Datei:.jpg|200px|thumb|rechts|Birgit Hübner]]<br /> <br /> == Birgit Hübner ==<br /> <br /> '''Department''': MF - Microfabrikation<br /> '''Research Field''': resist laboratory, etch laboratory, ChemA<br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 223<br /> <br /> '''Telephone''': 0721-608-22767<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:jan.meiser@kit.edu<br /> <br /> '''Substitute''':<br /> *[[Benutzer:Pascal.Meyer|Meyer, Pascal]]<br /> *[[Benutzer:Danays.Kunka|Kunka, Danays]]<br /> *[[Benutzer:Maximilian.Amberger|Amberger, Maximilian]]<br /> <br /> == Job Description ==<br /> Increasing the area of micro-gratings for X-ray Phase Contrast Imaging.<br /> <br /> == Expertise ==<br /> <br /> === Devices ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Processes ===<br /> *[http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&amp;view=article&amp;id=84%3Aliga-process&amp;catid=29%3Ax-ray-optics&amp;lang=en Direct-LIGA]<br /> <br /> === Software ===<br /> * [[DoseSim]]<br /> * Microsoft Excel<br /> <br /> === Materials ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titanium]]<br /> ** 50 µm foils<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Thermal Release Tape]]<br /> <br /> == Further Tasks at IMT ==<br /> * Wiki-Administrator</div> Birgit.Huebner