https://www.imt.kit.edu/wiki/api.php?action=feedcontributions&feedformat=atom&user=Heike.Fornasier 2026-05-12T10:36:22Z User contributions MediaWiki 1.39.17 https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Heike.Fornasier&diff=2051 2013-06-20T11:55:14Z

<p>Heike.Fornasier: </p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> *[[Schichtdickenmessgerät MPV-SP]]<br /> *[[UV-Intensity Meter Modell 1000 UV]] <br /> <br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *Cr-ätzen<br /> *Ti-ätzen<br /> *Au-ätzen<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> *Resiste<br /> **AZ Lack<br /> **SU-8/mr-L<br /> **PMMA<br /> **Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: </p> <hr /> <div>[[Datei:Passbild_Jan_Meiser.jpg|200px|thumb|rechts|Jan Meiser]]<br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> == Jan Meiser ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E1 - Röntgenoptik<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Röntgengitter<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 223<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22767<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:jan.meiser@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': <br /> *[[Benutzer:Pascal.Meyer|Meyer, Pascal]]<br /> *[[Benutzer:Danays.Kunka|Kunka, Danays]]<br /> *[[Benutzer:Maximilian.Amberger|Amberger, Maximilian]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> Vergrößerung der Fläche von Mikrogittern für die Röntgen-Phasenkontrasttomographie. <br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *[[LIGA|Direkt-LIGA]]<br /> <br /> <br /> === Software ===<br /> * [[DoseSim]]<br /> * Microsoft Excel<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titan]]<br /> ** 50 µm Bleche<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Klebefolien]]<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[09-813P]]: PHACT<br /> * [[11-984P]]: Großflächige Röntgengitter<br /> * [[11-979P]]<br /> * [[12-032P]]<br /> * [[12-037P]]<br /> * [[12-043P]] <br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> * Wiki-Admin<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> [[Kategorie:F&amp;E1]]<br /> [[Kategorie:Doktoranden - PhD Students]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: </p> <hr /> <div>[[Datei:Passbild_Jan_Meiser.jpg|200px|thumb|rechts|Jan Meiser]]<br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English | English Version]]<br /> <br /> == Jan Meiser2 ==<br /> <br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': F&amp;E1 - Röntgenoptik<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Röntgengitter<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 223<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22767<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:jan.meiser@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': <br /> *[[Benutzer:Pascal.Meyer|Meyer, Pascal]]<br /> *[[Benutzer:Danays.Kunka|Kunka, Danays]]<br /> *[[Benutzer:Maximilian.Amberger|Amberger, Maximilian]]<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> Vergrößerung der Fläche von Mikrogittern für die Röntgen-Phasenkontrasttomographie. <br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> * [[4TEC-Plasmaätzer]]<br /> * [[ANKA LIGA 1]]<br /> * [[ANKA LIGA 2]]<br /> * [[Hotplatebox (Horst)]]<br /> * [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> * [[Laserbeschriftungsgerät]]<br /> * [[RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus]]<br /> * [[Rasterelektronenmikroskop JSM-6600]]<br /> * [[Spincoater Primus STT15]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *[[LIGA|Direkt-LIGA]]<br /> <br /> <br /> === Software ===<br /> * [[DoseSim]]<br /> * Microsoft Excel<br /> <br /> === Materialien ===<br /> * [[mr-L/mr-X|mr-X]]<br /> * [[Silizium/Silicon|Silizium]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 525 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 200 µm]]<br /> ** [[4&quot;-Wafer 100 µm]]<br /> * [[Titan/Titanium|Titan]]<br /> ** 50 µm Bleche<br /> * [[Thermo-Klebefolien - Thermal Release Tape|Klebefolien]]<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[09-813P]]: PHACT<br /> * [[11-984P]]: Großflächige Röntgengitter<br /> * [[11-979P]]<br /> * [[12-032P]]<br /> * [[12-037P]]<br /> * [[12-043P]] <br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> * Wiki-Admin<br /> <br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]<br /> [[Kategorie:F&amp;E1]]<br /> [[Kategorie:Doktoranden - PhD Students]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: /* Materialien */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *Cr-ätzen<br /> *Ti-ätzen<br /> *Au-ätzen<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> *Resiste<br /> **AZ Lack<br /> **SU-8/mr-L<br /> **PMMA<br /> **Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

Heike.Fornasier https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Heike.Fornasier&diff=2047 2013-06-20T11:45:47Z

<p>Heike.Fornasier: /* PVA für IMT-Projekte */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *Cr-ätzen<br /> *Ti-ätzen<br /> *Au-ätzen<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> *Resiste<br /> **Az Lack<br /> **Su8/MRL<br /> **PMMA<br /> **Durimide<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: /* Materialien */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *Cr-ätzen<br /> *Ti-ätzen<br /> *Au-ätzen<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> *Resiste<br /> **Az Lack<br /> **Su8/MRL<br /> **PMMA<br /> **Durimide<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

Heike.Fornasier https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Heike.Fornasier&diff=2045 2013-06-20T11:43:26Z

<p>Heike.Fornasier: /* Prozesse */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> *Cr-ätzen<br /> *Ti-ätzen<br /> *Au-ätzen<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: /* Geräte */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

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<p>Heike.Fornasier: /* Geräte */</p> <hr /> <div>[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Mäxle und Lieschen]]<br /> <br /> <br /> [[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]<br /> <br /> == Heike Fornasier ==<br /> &lt;!--<br /> Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.<br /> Dies ermöglicht die Seitenleiste &quot;werkzeuge -&gt; Datei hochladen&quot;.<br /> Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &lt;100kB und z.B. 120×160px<br /> --&gt;<br /> <br /> <br /> '''Funktionsbereich''': MF<br /> <br /> '''Aufgabengebiet''': Arbeiten im Reinraum<br /> <br /> '''Bau''': 307<br /> <br /> '''Raum''': 124<br /> <br /> '''Telefon''': 0721-608-22766<br /> <br /> '''e-mail''': mailto:heike.fornasier@kit.edu<br /> <br /> '''Stellvertreter''': Mädels Raum 125<br /> <br /> == Tätigkeitsbeschreibung ==<br /> *optische Lithographie<br /> *nasschem. Ätzen<br /> *Ansprechpartner für Arbeiten im Reinraum<br /> *Schichtdicken- und Oberflächenmessungen<br /> <br /> == Fertigkeiten/Kenntnisse ==<br /> <br /> === Geräte ===<br /> *[[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Oxidationsanlage]]<br /> *[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[HMDS-Ofen Star-2000, Fa. IMTEC]]<br /> *[[Planarätzer P300]]<br /> *[[Spin Processor (Entwickler)]]<br /> *[[Belichtungsgerät LH5]]<br /> *[[RC8 THP Wafer Processing System, Fa. Süss]]<br /> *[[Vakuum-/Inertgasofen 500°C, VT 6060 P-500]]<br /> *[[Umluftofen UT 5050 LAF, Fa. Kendro]]<br /> *[[Vakuumofen VT 6060 M, Fa. Kendro]]<br /> *[[Megaschallgeber]]<br /> *[[Maskenreiniger HMR 900]]<br /> *[[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]<br /> *[[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]<br /> *[[Hotplatebox (Horst)]]<br /> *[[Spincoater Primus STT15]]<br /> *[[Sprühentwickler ST30 (anorganisch)]]<br /> <br /> === Prozesse ===<br /> <br /> === Software ===<br /> <br /> === Materialien ===<br /> <br /> == [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==<br /> * [[00-000P]]<br /> <br /> == Weitere Aufgaben am IMT ==<br /> &lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&gt;<br /> <br /> &lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&gt;<br /> [[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]</div>

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