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	<title>IMT-Wiki - User contributions [en]</title>
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		<updated>2013-05-17T14:06:54Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Marie-Kristin Nees */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
&lt;div&gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!--&lt;br /&gt;
Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.&lt;br /&gt;
Dies ermöglicht die Seitenleiste &amp;quot;werkzeuge -&amp;gt; Datei hochladen&amp;quot;.&lt;br /&gt;
Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &amp;lt;100kB und z.B. 120×160px&lt;br /&gt;
--&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Datei:&amp;lt;Bilddatei&amp;gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;e-mail&#039;&#039;&#039;: Marie-Kristin.Nees@kit.edu&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Stellvertreter&#039;&#039;&#039;: [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]] ; [[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
* [[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]&lt;br /&gt;
* [[Schichtdickenmessgerät MPV-SP]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]], [[Spincoater Primus STT15]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Marie-Kristin Nees */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
&lt;div&gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!--&lt;br /&gt;
Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst hochgeladen werden.&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Bau&#039;&#039;&#039;: 307&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;e-mail&#039;&#039;&#039;: Marie-Kristin.Nees@kit.edu&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
* [[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]&lt;br /&gt;
* [[Schichtdickenmessgerät MPV-SP]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]], [[Spincoater Primus STT15]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
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		<updated>2013-05-17T13:50:32Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Eingewiesene Nutzer */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Gerätebezeichnung:&#039;&#039;&#039; Sprühenmtwickler&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Geräteverantwortliche/Operateure:&#039;&#039;&#039; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Standort:&#039;&#039;&#039; Bau 309, Raum 148&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Prüfmittel/Fertigungsnummer:&#039;&#039;&#039; SE 0339&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Spezifikations-Nummer:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Zur entwicklung von PMMA mit Isopropanol und Isobutylmethylketon in 2 verschiedenen Verdünnungen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Alternativen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Becherglasentwicklung, allerdings ist diese Vorgehensweise nicht reproduzierbar.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Entwicklung PMMA in folgenden Schichtdicken:&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* 3,2 µm&lt;br /&gt;
* 2,0 µm&lt;br /&gt;
* 1,0 µm&lt;br /&gt;
* 200 nm&lt;br /&gt;
* 100 nm&lt;br /&gt;
*  50 nm&lt;br /&gt;
*  25 nm&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Einschränkungen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Es können keine anderen Prozesse als PMMA Entwicklung durchgeführt werden, da die Medien für die Tanks fest gelegt sind und nicht verändert werden können.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Eingewiesene Nutzer ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees | Nees, Marie-Kristin]]&lt;br /&gt;
* [[Benutzer:Andreas.Bacher | Bacher, Andreas]]&lt;br /&gt;
* [[Benutzer:Peter.Jakobs | Jakobs, Peter]]&lt;br /&gt;
* [[Benutzer:Tobias.Wienhold | Wienhold, Tobias]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Geräte - Devices]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1375</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
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		<updated>2013-05-17T13:47:50Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Einschränkungen */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Gerätebezeichnung:&#039;&#039;&#039; Sprühenmtwickler&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Geräteverantwortliche/Operateure:&#039;&#039;&#039; [[Benutzer:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]] ; [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Standort:&#039;&#039;&#039; Bau 309, Raum 148&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Prüfmittel/Fertigungsnummer:&#039;&#039;&#039; SE 0339&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Spezifikations-Nummer:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Zur entwicklung von PMMA mit Isopropanol und Isobutylmethylketon in 2 verschiedenen Verdünnungen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Alternativen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Becherglasentwicklung, allerdings ist diese Vorgehensweise nicht reproduzierbar.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Entwicklung PMMA in folgenden Schichtdicken:&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* 3,2 µm&lt;br /&gt;
* 2,0 µm&lt;br /&gt;
* 1,0 µm&lt;br /&gt;
* 200 nm&lt;br /&gt;
* 100 nm&lt;br /&gt;
*  50 nm&lt;br /&gt;
*  25 nm&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Einschränkungen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Es können keine anderen Prozesse als PMMA Entwicklung durchgeführt werden, da die Medien für die Tanks fest gelegt sind und nicht verändert werden können.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Eingewiesene Nutzer ==&lt;br /&gt;
Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Geräte - Devices]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
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		<updated>2013-05-17T13:46:12Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Etablierte Prozesse */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Spezifikations-Nummer:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Zur entwicklung von PMMA mit Isopropanol und Isobutylmethylketon in 2 verschiedenen Verdünnungen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Alternativen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Becherglasentwicklung, allerdings ist diese Vorgehensweise nicht reproduzierbar.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Entwicklung PMMA in folgenden Schichtdicken:&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* 3,2 µm&lt;br /&gt;
* 2,0 µm&lt;br /&gt;
* 1,0 µm&lt;br /&gt;
* 200 nm&lt;br /&gt;
* 100 nm&lt;br /&gt;
*  50 nm&lt;br /&gt;
*  25 nm&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Einschränkungen ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Eingewiesene Nutzer ==&lt;br /&gt;
Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Geräte - Devices]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
	</entry>
	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1373</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1373"/>
		<updated>2013-05-17T13:44:00Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Alternativen */&lt;/p&gt;
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&lt;br /&gt;
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== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Zur entwicklung von PMMA mit Isopropanol und Isobutylmethylketon in 2 verschiedenen Verdünnungen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Alternativen ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Becherglasentwicklung, allerdings ist diese Vorgehensweise nicht reproduzierbar.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Einschränkungen ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?&lt;br /&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1371</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1371"/>
		<updated>2013-05-17T13:43:17Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Kurzbeschreibung */&lt;/p&gt;
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== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Zur entwicklung von PMMA mit Isopropanol und Isobutylmethylketon in 2 verschiedenen Verdünnungen.&lt;br /&gt;
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== Alternativen ==&lt;br /&gt;
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]].&lt;br /&gt;
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== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
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== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).&lt;br /&gt;
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?&lt;br /&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1365</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1365"/>
		<updated>2013-05-17T13:40:32Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: &lt;/p&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1362</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
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		<updated>2013-05-17T13:39:38Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: &lt;/p&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1361</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1361"/>
		<updated>2013-05-17T13:38:25Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: &lt;/p&gt;
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[[Kategorie:Geräte - Devices]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
	</entry>
	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1359</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1359"/>
		<updated>2013-05-17T13:36:14Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Geräte */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!--&lt;br /&gt;
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--&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Datei:&amp;lt;Bilddatei&amp;gt;|rahmenlos|links|Text der Bild-Legende]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Bau&#039;&#039;&#039;: 307&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;e-mail&#039;&#039;&#039;: Marie-Kristin.Nees@kit.edu&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Stellvertreter&#039;&#039;&#039;: [[Benutzer:Andreas.Bacher|Bacher, Andreas]]&lt;br /&gt;
[[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter-Jürgen]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
* [[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]&lt;br /&gt;
* [[Schichtdickenmessgerät MPV-SP]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]], [[Spincoater Primus STT15]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
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		<updated>2013-05-17T13:36:08Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Geräte */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
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Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre &amp;lt;100kB und z.B. 120×160px&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Bau&#039;&#039;&#039;: 307&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
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[[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter-Jürgen]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
* [[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]&lt;br /&gt;
* [[Schichtdickenmessgerät MPV-SP]]&lt;br /&gt;
*&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]], [[Spincoater Primus STT15]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=Spr%C3%BChentwickler_ST30_(organisch)&amp;diff=1355</id>
		<title>Sprühentwickler ST30 (organisch)</title>
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		<updated>2013-05-17T13:32:46Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: Die Seite wurde neu angelegt: „{{ers:Geräte-Devices}}“&lt;/p&gt;
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&#039;&#039;&#039;Gerätebezeichnung:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Geräteverantwortliche/Operateure:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Standort:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Prüfmittel/Fertigungsnummer:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Spezifikations-Nummer:&#039;&#039;&#039;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Kurzbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Alternativen ==&lt;br /&gt;
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]].&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Spezifikationen des Geräts ==&lt;br /&gt;
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Etablierte Prozesse ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Einschränkungen ==&lt;br /&gt;
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Eingewiesene Nutzer ==&lt;br /&gt;
Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen.&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Geräte - Devices]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
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		<updated>2013-05-17T13:30:59Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Weitere Aufgaben am IMT */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Bau&#039;&#039;&#039;: 307&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1353</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
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		<updated>2013-05-17T13:30:29Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Weitere Aufgaben am IMT */&lt;/p&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
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=== Geräte ===&lt;br /&gt;
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* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
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* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
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=== Materialien ===&lt;br /&gt;
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* PMMA&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: Spincoater (OPTIcoat ST22+), Spincoater Primus STT15&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
	</entry>
	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1352</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1352"/>
		<updated>2013-05-17T13:28:37Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Weitere Aufgaben am IMT */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
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* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von:&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
	</entry>
	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1351</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1351"/>
		<updated>2013-05-17T13:26:59Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* PVA für IMT-Projekte */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&lt;br /&gt;
[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Bau&#039;&#039;&#039;: 307&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Telefon&#039;&#039;&#039;: 0721 608 2 4429&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;e-mail&#039;&#039;&#039;: Marie-Kristin.Nees@kit.edu&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<updated>2013-05-17T13:26:24Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Materialien */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Aufgabengebiet&#039;&#039;&#039;: Ebeam Operator&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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[[Benutzer:Peter-Jürgen.Jakobs|Jakobs, Peter-Jürgen]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* PMMA&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Software */&lt;/p&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
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== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
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* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
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=== Materialien ===&lt;br /&gt;
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== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<updated>2013-05-17T13:25:08Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Prozesse */&lt;/p&gt;
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* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
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=== Geräte ===&lt;br /&gt;
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* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
* Zwischenmasken Prozessierung&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Software ===&lt;br /&gt;
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=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1347</id>
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		<updated>2013-05-17T13:24:57Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Prozesse */&lt;/p&gt;
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== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
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=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
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* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
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* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Spincoating von PMMA&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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=== Materialien ===&lt;br /&gt;
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== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
	</entry>
	<entry>
		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1346</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
		<link rel="alternate" type="text/html" href="https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1346"/>
		<updated>2013-05-17T13:23:01Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Geräte */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
&lt;div&gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
[[Benutzer:{{PAGENAME}}/English|English Version]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
* EBeam - Bedienung&lt;br /&gt;
* Daten Prozessierung&lt;br /&gt;
* Erstellen von Pythonskripts&lt;br /&gt;
* Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Geräte ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
* [[Spincoater (OPTIcoat ST22+)]]&lt;br /&gt;
* [[Oxidationsanlage]]&lt;br /&gt;
* [[Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF]]&lt;br /&gt;
* [[4-TEC Plasmaätzer]]&lt;br /&gt;
* [[Maskenreiniger HMR 900]]&lt;br /&gt;
* [[EVG 620 Double Side Mask Aligner]]&lt;br /&gt;
* [[Hotplate (OPTIhot SHT20)]]&lt;br /&gt;
* [[Sprühentwickler ST30 (organisch)]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Software ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materialien ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
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[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<updated>2013-05-17T13:15:49Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Geräte */&lt;/p&gt;
&lt;hr /&gt;
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== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
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* Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)&lt;br /&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Tätigkeitsbeschreibung */&lt;/p&gt;
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		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<updated>2013-05-17T13:07:36Z</updated>

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[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1337</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
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		<updated>2013-05-17T13:07:10Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: /* Vorname Nachname */&lt;/p&gt;
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== Marie-Kristin Nees ==&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Fachbereich&#039;&#039;&#039;: F&amp;amp;E 7&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Raum&#039;&#039;&#039;: 125&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;e-mail&#039;&#039;&#039;: Marie-Kristin.Nees@kit.edu&lt;br /&gt;
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== Tätigkeitsbeschreibung ==&lt;br /&gt;
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== Fertigkeiten/Kenntnisse ==&lt;br /&gt;
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=== Geräte ===&lt;br /&gt;
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=== Prozesse ===&lt;br /&gt;
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=== Software ===&lt;br /&gt;
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== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==&lt;br /&gt;
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== Weitere Aufgaben am IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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&amp;lt;!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --&amp;gt;&lt;br /&gt;
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&amp;lt;!-- Weitere Kategorien: FuEX, --&amp;gt;&lt;br /&gt;
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees/English&amp;diff=1027</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees/English</title>
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		<updated>2013-05-06T13:38:08Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: Die Seite wurde neu angelegt: „{{ers:Mitarbeiter/English}}“&lt;/p&gt;
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&#039;&#039;&#039;Department&#039;&#039;&#039;:&lt;br /&gt;
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&lt;br /&gt;
&#039;&#039;&#039;Room&#039;&#039;&#039;:&lt;br /&gt;
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&#039;&#039;&#039;Substitute&#039;&#039;&#039;:&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Job Description ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Expertise ==&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Devices ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Processes ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Software ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
=== Materials ===&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] for IMT Projects ==&lt;br /&gt;
* [[00-000P]]&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
== Further Tasks at IMT ==&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- e.g. device responsible , board member, etc. --&amp;gt;&lt;br /&gt;
&lt;br /&gt;
&amp;lt;!-- Optional Categories as Publications, Presentations, etc. --&amp;gt;&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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		<id>https://www.imt.kit.edu/wiki/index.php?title=User:Marie-Kristin.Nees&amp;diff=1026</id>
		<title>User:Marie-Kristin.Nees</title>
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		<updated>2013-05-06T13:37:42Z</updated>

		<summary type="html">&lt;p&gt;Marie-Kristin.Nees: Die Seite wurde neu angelegt: „{{ers:Mitarbeiter}}“&lt;/p&gt;
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[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]&lt;/div&gt;</summary>
		<author><name>Marie-Kristin.Nees</name></author>
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