Reinraum - Cleanroom - Revision history

Dieter.Maas at 14:12, 16 February 2018

2018-02-16T14:12:29Z

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	Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.		Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung [[AA505_Reinraumregeln\|AA505.xx]] [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.

Dieter.Maas at 14:00, 16 February 2018

2018-02-16T14:00:56Z

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	'''Die Reinräume des IMT'''		'''Die Reinräume des IMT'''

	~~Das~~ IMT ~~verfügt~~ ~~über~~ ca. ~~500~~ m² ~~Reinraumfläche~~ ~~der~~ ~~Klasse~~ ISO 7 ~~(nach DIN~~ EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.		Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der ~~EInarbeitungszeit~~ kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden. ~~Durch die Teilnahme am vierteljährlich stattfindenden User Meeting wird die Zugangsberechtigung dann jeweils um ein weiteres viertel Jahr verlängert.~~		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.

WikiSysop at 17:53, 19 November 2016

2016-11-19T17:53:17Z

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	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[~~Benutzer~~:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der EInarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden. Durch die Teilnahme am vierteljährlich stattfindenden User Meeting wird die Zugangsberechtigung dann jeweils um ein weiteres viertel Jahr verlängert.		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der EInarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden. Durch die Teilnahme am vierteljährlich stattfindenden User Meeting wird die Zugangsberechtigung dann jeweils um ein weiteres viertel Jahr verlängert.

WikiSysop at 16:52, 19 November 2016

2016-11-19T16:52:53Z

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	'''Die Reinräume des IMT'''		'''Die Reinräume des IMT'''

	Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[~~Benutzer~~:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.		Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.
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	[[~~Kategorie~~:Reinraum]]		[[Category:Reinraum]]
	[[~~Kategorie~~:Core Technologies (CTE)]]		[[Category:Core Technologies (CTE)]]
	[[~~Kategorie~~:Infrastruktur]]		[[Category:Infrastruktur]]

Dieter.Maas at 16:54, 8 March 2016

2016-03-08T16:54:07Z

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		⚫	[[Kategorie:Reinraum]]

			[[Kategorie:Core Technologies (CTE)]]

			[[Kategorie:Infrastruktur]]


















⚫	[[Kategorie: ~~Infrastruktur~~]]

Uwe.Koehler at 11:34, 12 January 2016

2016-01-12T11:34:50Z

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	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, ~~muss~~ ~~die~~ ~~entsprechende~~ ~~Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx~~ ~~bei~~ [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] ~~beantragen~~. Im ~~Antrag~~ ~~wird~~ ~~unter~~ ~~anderem~~ ~~nach~~ ~~einer~~ ~~Beschreibung und~~ ~~nach~~ der ~~Projektnummer~~ ~~der~~ ~~geplanten~~ ~~Arbeiten~~ im ~~Reinraum~~ ~~gefragt~~ und das ~~Formular~~ ~~vom~~ ~~Betreuer~~ ~~des~~ ~~Antragstellers~~ ~~mit~~ ~~unterschrieben.~~ ~~Eine~~ ~~weitere~~ ~~Vorraussetzung~~ ~~für~~ ~~den~~ ~~selbstständigen~~ ~~Reinraumzutritt~~ ~~ist~~ ~~eine~~ ~~mindestens~~ ~~4-wöchige~~ ~~Einarbeitungszeit~~. ~~Danach~~ ~~wird~~ der KIT-Werksausweis ~~für~~ ~~das~~ ~~Öffnen~~ ~~der~~ ~~Türen~~ ~~zum~~ ~~Reinraum~~ kodiert. ~~Wer~~ ~~nur~~ ~~bis~~ zu 3 ~~Monate~~ am ~~IMT~~ ~~tätig~~ ~~ist~~ ~~erhält~~ in ~~der~~ ~~Regel~~ ~~keinen~~ ~~selbstständigen~~ ~~Zugang~~ ~~zum~~ ~~Reinraum~~.		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der EInarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden. Durch die Teilnahme am vierteljährlich stattfindenden User Meeting wird die Zugangsberechtigung dann jeweils um ein weiteres viertel Jahr verlängert.

Franziska.Lambrecht at 10:47, 12 January 2016

2016-01-12T10:47:27Z

← Older revision		Revision as of 12:47, 12 January 2016
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	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum.		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum.


			'''<span style="color:#800000"> mehr Informationen unter </span> [[{{PAGENAME}}/english\|English version]]'''

Dieter.Maas at 13:45, 3 July 2015

2015-07-03T13:45:22Z

← Older revision		Revision as of 15:45, 3 July 2015
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	'''Die Reinräume des IMT'''		'''Die Reinräume des IMT'''

	Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). ~~Diese~~ Räume ~~sind~~ ~~dem~~ ~~Funktionsbereich~~ [[~~Mikrofertigung~~ (MF)]] ~~zugeordnet~~. Unter anderem ~~befindet~~ sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie ~~in verschiedenen Varianten,~~ wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie ~~Spin~~ ~~Coater~~, ~~Entwickler und~~ diverse Plasmaätzanlagen.		Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

	~~Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden.~~ Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(~~s.a.~~ Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter ~~mit~~ einer ~~allgemeinen~~ Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen ~~oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen~~. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

			'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum.

Stephan.Dottermusch at 15:08, 26 January 2015

2015-01-26T15:08:38Z

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	'''Die Reinräume des IMT'''		'''Die Reinräume des IMT'''

	Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich [[Mikrofertigung (MF)]] zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[~~Nanoscribe_3_D_Laserlithographie-System~~\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen.		Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich [[Mikrofertigung (MF)]] zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen.

	Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(s.a. Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit.		Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(s.a. Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit.

Uwe.Koehler at 09:26, 5 November 2013

2013-11-05T09:26:32Z

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	Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich [[Mikrofertigung (MF)]] zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe_3_D_Laserlithographie-System\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen.		Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich [[Mikrofertigung (MF)]] zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe_3_D_Laserlithographie-System\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen.

	Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit.		Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(s.a. Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung [[Benutzer:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]] beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit.

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	Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.		Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner\| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional\|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

	Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.		Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung [[AA505_Reinraumregeln\|AA505.xx]] [[Reinraumregeln\|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

	'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.		'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler\|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.