Nassprozessanlage: Difference between revisions
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== Alternativen == |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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Die Nassentwicklung kann auch im Becherglas erfolgen. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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Die Laufzeit ist programmierbar und mit einer Signaleinrichtung versehen. |
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Solltemperatur der Bäder: 23 °C |
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Zur Zeit werden das Wasserbad und das BDG-Bad (Spülbad) genutzt. |
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== Etablierte Prozesse == |
== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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== Einschränkungen == |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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== Eingewiesene Nutzer == |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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Latest revision as of 18:55, 19 November 2016
Gerätebezeichnung: Nassprozess- / Entwicklungsanlage
Geräteverantwortliche/Operateure: Julia Wolf, Martin Börner
Standort: Bau 307, Raum 132c
Prüfmittel/Fertigungsnummer: SL 0252
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Diese Entwicklungsanlage der Firma Ritter (Firma Sonosys) Anagenbau GmbH dient zur Maskenentwicklung.
Sie kann mit Megaschall betrieben werden.
Alternativen
Die Nassentwicklung kann auch im Becherglas erfolgen.
Spezifikationen des Geräts
Die Laufzeit ist programmierbar und mit einer Signaleinrichtung versehen.
Solltemperatur der Bäder: 23 °C
Zur Zeit werden das Wasserbad und das BDG-Bad (Spülbad) genutzt.
Etablierte Prozesse
Einschränkungen
Eingewiesene Nutzer
Stellvertreter:
