Reinraumregeln: Difference between revisions
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== Reinraumkleidung == |
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'''Die Mitarbeiter des Reinraumteams tragen im Reinraum blaue Overalls und Hauben. Die sonstigen Nutzer des Reinraums tragen weiße Overalls und Einweghauben. Mundschutz zu tragen ist nicht obligatorisch, sondern sollte nur im Bedarfsfall bei kritischen Prozessen wie Spincoating getragen werden. Bartträger müssen immer Mundschutz tragen. |
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== Grundregeln im Reinraum == |
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== Kurzbeschreibung == |
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Den Arbeitsplatz stets aufgeräumt und gesäubert hinterlassen! Substrate und Chemikalien müssen weggeräumt werden. |
* Den Arbeitsplatz stets aufgeräumt und gesäubert hinterlassen! Substrate und Chemikalien müssen weggeräumt werden. |
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Versuche dürfen nur in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen aufgebaut werden und müssen mit Name und Datum gekennzeichnet sein! |
* Versuche dürfen nur in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen aufgebaut werden und müssen mit Name und Datum gekennzeichnet sein! |
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Substrate und Dokumente müssen einer Laufkarte oder einem Mitarbeiter zuzuordnen sein! |
* Substrate und Dokumente müssen einer Laufkarte oder einem Mitarbeiter zuzuordnen sein! |
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Schnelles Gehen und hektische Bewegungen unbedingt vermeiden. |
* Schnelles Gehen und hektische Bewegungen unbedingt vermeiden. |
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Der Verzehr sowie die Mitnahme von Speisen, Getränken, Genussmitteln oder Medikamenten ist verboten! |
* Der Verzehr sowie die Mitnahme von Speisen, Getränken, Genussmitteln oder Medikamenten ist verboten! |
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Für die Dokumentation darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden! |
* Für die Dokumentation darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden! |
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== Sicherheit im Reinraum == |
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'''Der Reinraum des IMT ist ein Labor mit erhöhter Gefährdung (s.a. Betriebsanweisung Alleinarbeit). Das heißt, dass z.B. tagsüber zwischen 6:00 und 19:00 Uhr auch alleine gearbeitet werden kann. Das erfordert aber auch eine Minimierung möglicher Gefährdungen sei es durch giftige Chemikalien oder gefährliche Laborgeräte. Da im Reinraum offen mit Gefahrstoffen umgegangen wird und Dämpfe in die Umluft gelangen können, wird angestrebt nur möglichst harmlose Chemikalien zu verwenden. Giftige, umweltgefährdende oder gar krebserregende Stoffe sind verboten oder dürfen nur von speziell geschulten Mitarbeitern mit entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen verwendet werden. Jeder neue Stoff, der im Reinraum verwendet werden soll, muss gemeldet und vom Laborverantwortlichen genehmigt werden.''' |
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Argon dient als Prozessgas. |
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Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben. |
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Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert. |
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Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, |
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Genauigkeit: +- 0,01 mm |
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== Etablierte Prozesse == |
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Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind: |
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* 4", 6" - Si-Wafer |
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* 4" - Keramikwafer |
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== Links == |
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* 4" - Glaswafer |
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* [[ChemA]]: Gefahrstoffverzeichnis des KIT |
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Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden. |
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Standardgrößen der Resistfolien sind: |
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[[Category:Reinraum]] |
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* 75 x 30 mm² |
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[[Category:Core Technologies (CTE)]] |
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[[Category:Infrastruktur]] |
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* 63 x 23 mm² |
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* runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm² |
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* kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm² |
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Latest revision as of 16:11, 19 November 2016
Reinraumkleidung
Die Mitarbeiter des Reinraumteams tragen im Reinraum blaue Overalls und Hauben. Die sonstigen Nutzer des Reinraums tragen weiße Overalls und Einweghauben. Mundschutz zu tragen ist nicht obligatorisch, sondern sollte nur im Bedarfsfall bei kritischen Prozessen wie Spincoating getragen werden. Bartträger müssen immer Mundschutz tragen.
Grundregeln im Reinraum
- Grundsätzlich im Reinraum Handschuhe und falls erforderlich Mundschutz tragen!
- Auf saubere Handhabung der Substrate achten, Verunreinigungen, Partikel und Fingerabdrücke vermeiden!
- Den Arbeitsplatz stets aufgeräumt und gesäubert hinterlassen! Substrate und Chemikalien müssen weggeräumt werden.
- Versuche dürfen nur in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen aufgebaut werden und müssen mit Name und Datum gekennzeichnet sein!
- Substrate und Dokumente müssen einer Laufkarte oder einem Mitarbeiter zuzuordnen sein!
- Schnelles Gehen und hektische Bewegungen unbedingt vermeiden.
- Der Verzehr sowie die Mitnahme von Speisen, Getränken, Genussmitteln oder Medikamenten ist verboten!
- Für die Dokumentation darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden!
Sicherheit im Reinraum
Der Reinraum des IMT ist ein Labor mit erhöhter Gefährdung (s.a. Betriebsanweisung Alleinarbeit). Das heißt, dass z.B. tagsüber zwischen 6:00 und 19:00 Uhr auch alleine gearbeitet werden kann. Das erfordert aber auch eine Minimierung möglicher Gefährdungen sei es durch giftige Chemikalien oder gefährliche Laborgeräte. Da im Reinraum offen mit Gefahrstoffen umgegangen wird und Dämpfe in die Umluft gelangen können, wird angestrebt nur möglichst harmlose Chemikalien zu verwenden. Giftige, umweltgefährdende oder gar krebserregende Stoffe sind verboten oder dürfen nur von speziell geschulten Mitarbeitern mit entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen verwendet werden. Jeder neue Stoff, der im Reinraum verwendet werden soll, muss gemeldet und vom Laborverantwortlichen genehmigt werden.
Einschränkungen
Links
- ChemA: Gefahrstoffverzeichnis des KIT
