AA505 Reinraumregeln

English version

Arbeitsanweisung	505
Revision	02
Stand	15.05.2017
Bearbeiter	Köhler

Zweck

Beschreibung der Regeln zum Betreten und für das Arbeiten in den IMT-Reinräumen

Anwendung

Diese Arbeitsanweisung gilt in den Räumen 107.8 bis 107.10, 132b,c und 137 bis 148 des IMT.

Begriffe und Abkürzungen

Begriffe

Der Reinraumbereich besteht aus den Räumen 107.8 bis 107.10, 132b,c und 137 bis 148 des IMT.

Der Grauraum besteht aus den Räumen 139, 140 und 140b des IMT.

Schleusenbereiche befinden sich in den Räumen 144/145 und 132d. Im Schleusenbereich wird die endgültige Reinraumkleidung angelegt.

Abkürzungen

CTE	Core Technologies
IMT	Institut für Mikrostrukturtechnik
QS-Nr.	Qualitätssicherungs-Nummer

Beschreibung

Allgemeines

Die IMT-Reinräume sind spezielle Labore, in denen einige der wichtigsten Geräte für die verschiedenen Lithografieverfahren des IMT genutzt werden. Zur Aufrechterhaltung der hohen Anforderungen an die Raumspezifikation (vgl. Spezifikation QS-Nr.: SP590.xx) gelten in diesen Räumen spezielle Kleidervorschriften und Verhaltensregeln. Der Reinraumbereich ist nur einem begrenzten und eigens geschulten Personenkreis zugänglich.

Den Reinraumbereich dürfen nur Personen selbstständig betreten und darin arbeiten, die die vorgeschriebenen Einweisungsschulungen (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx) absolviert haben. Anschließend wird in einem Kick-off-Meeting (Formblatt QS-Nr.: FB527.xx) die Einarbeitung und Schulung des zukünftigen Nutzers festgelegt.

Einen selbständigen Zutritt zum Reinraum erhalten in der Regel nur Personen, deren Arbeiten im Reinraum sich länger als drei Monate erstrecken.

Alle anderen Personen (Besucher, Gastwissenschaftler, Studenten, Praktikanten, externes Servicepersonal etc.) dürfen nur unter der Verantwortung und Aufsicht eines IMT-Mitarbeiters mit Zugangsberechtigung (Betreuer oder ein von ihm beauftragter Mitarbeiter) den Reinraumbereich betreten.

Besuchergruppen dürfen den Reinraumbereich nur in Abstimmung mit dem Laborverantwortlichen betreten. Für die Öffentlichkeit bestimmte Film-, Ton- und Bildaufnahmen dürfen nur in Abstimmung mit dem Bereich CTE aufgezeichnet werden.

Das Arbeiten mit Fertigungs- und Prüfmitteln bedarf einer Einweisung. Diese wird nach Absprache durch den jeweiligen Fertigungs- und Prüfmittelverantwortlichen (siehe Anlagenbuch) durchgeführt und im Anlagenbuch dokumentiert.

In den Reinräumen gelten die allgemeinen Sicherheitsregelungen des KIT-Campus Nord.

Der Reinraumverantwortliche und seine Mitarbeiter sind bezüglich des Verhaltens im Reinraumbereich weisungsbefugt. Sie sind auch die Ansprechpartner bei Fragen zum Umgang mit Arbeitsmitteln oder Chemikalien. Darüber hinaus ist jeder Mitarbeiter aufgefordert, eigenes Fehlverhalten, aber auch falsches Reinraumverhalten von Kolleginnen und Kollegen, zu korrigieren.

Das Arbeiten in den Reinräumen ist während der regulären Arbeitszeiten (Montag–Freitag, 7:00–17:00 Uhr) gestattet. Zu diesen Zeiten kann der Reinraum über beide Schleusenbereiche mit den freigeschalteten Betriebsausweisen betreten werden. Die Alleinarbeit außerhalb dieser Zeiten ist in der IMT-Betriebsanweisung „Alleinarbeit/Einzelarbeitsplatz“ geregelt. Der Reinraumbereich ist als Bereich mit erhöhter Gefährdung eingestuft.

Zutrittsberechtigung für die Reinräume

Um einen selbstständigen Zugang (Betriebsausweis freigeschaltet) zu erhalten, müssen folgende Voraussetzungen erfüllt sein:

1.	Die Wochenarbeitszeit im Reinraum und der gesamte Aufenthalt am IMT müssen mehr als sechs Stunden bzw. mehr als drei Monate umfassen.
2.	Der Mitarbeiter hat an einer der vierteljährlich stattfindenden, allgemeinen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder hat die selbstgeführte Sicherheitsunterweisung am PC absolviert (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx).
3.	Der Mitarbeiter hat an der jährlichen, arbeitsplatzbezogenen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder wurde im Reinraum vom Reinraumverantwortlichen geschult (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx).

Personen, die (ggf. noch) keinen selbständigen Zugang zum Reinraum haben, können unter Verantwortung des Betreuers oder eines von ihm beauftragten IMT-Mitarbeiters den Reinraum betreten und dort an Geräten arbeiten, an denen sie eingewiesen sind. Voraussetzung hierfür ist immer eine Unterweisung gemäß Kapitel 4.2, Pkt. 2. Für kurzfristige Arbeiten, studentische Praktika oder Ähnliches trägt immer der jeweilige Betreuer mit eigenem Reinraumzutritt die Verantwortung. Unter seiner Aufsicht können auch kurzfristige Aufgaben oder Messaufgaben in wenig gefährdeten Bereichen (z. B. Tastschnittgeräte, AFM oder REM) selbstständig durchgeführt werden. Ohne Betreuer mit eigener Zutrittsberechtigung ist ein Arbeiten im Reinraum verboten.

Ankleiden zum Betreten der Reinräume

Oberbekleidung, die im Reinraum nicht benötigt wird, wie zum Beispiel Pullover, Jacke oder Mantel wird im Schleusenbereich in einem Kleiderschrank aufgehängt.

Zuerst werden die Straßenschuhe abgelegt und in eines der dafür vorgesehen Regalfächer abgestellt. Danach werden die persönlichen Reinraumschuhe angezogen.

Personen, die nicht über persönliche Reinraumschuhe verfügen, ziehen über ihre Straßenschuhe reinraumgeeignete Überschuhe, entweder aus dem automatischen Schuhspender oder aus der Box im Schleusenbereich. Beim Verlassen des Reinraumbereiches werden die Überschuhe in den Abfallbehälter im Schleusenbereich geworfen.

Über eine Fußmatte wird dann der Grauraum in Richtung Reinraum betreten.

Im Schleusenbereich wird die Reinraumoberbekleidung angelegt. Diese besteht zusätzlich zu den bereits angelegten Reinraumschuhen bzw. Überschuhen aus einer Haube, einem Overall und Handschuhen.

Mitarbeiter mit persönlicher Reinraumoberbekleidung ziehen zuerst ihre Haube und dann ihren Overall an. Dabei wird darauf geachtet, dass die Haube alle Haare bedeckt und die Ärmel des Overalls und das Overalloberteil beim Anziehen (und später auch beim Ausziehen) den Boden nicht berühren. Alle Reiß- und Klettverschlüsse müssen geschlossen sein.

Die gleiche Vorgehensweise gilt auch für Personen, die nicht über persönliche Reinraumkleidung verfügen. Jedoch verwenden diese eine Einmalhaube und einen Gästeoverall.

Im Schleusenbereich befinden sich Unterziehhandschuhe aus Gewebe und Latexhandschuhe in verschiedenen Größen. Gäste verwenden nur die Latexhandschuhe. Mitarbeiter mit Zugangsberechtigung haben in der Regel eine persönliche Box mit ihren Handschuhen. Spezielle Handschuhe für die verschiedenen Chemikalien werden auf Wunsch bereitgestellt.

Grundregeln des Verhaltens im Reinraum

Zur Aufrechterhaltung der Reinraumbedingungen in den IMT-Reinräumen wird von allen in diesen Räumen tätigen Personen ein angemessenes Verhalten und besondere Disziplin erwartet. Grundsätzlich gelten in den IMT-Reinräumen die nachfolgend aufgeführten Verhaltensregeln und Vorgehensweisen:

Auf saubere Handhabung der Substrate achten, Verunreinigungen, Partikel und Fingerabdrücke vermeiden!

Grundsätzlich im Reinraum Handschuhe und falls erforderlich (z. B. Bartträger, kritische Prozessschritte) Mundschutz tragen!

Den Arbeitsplatz stets aufgeräumt und gesäubert hinterlassen! Substrate und Chemikalien müssen weggeräumt werden!

Versuche dürfen nur in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen aufgebaut werden und müssen mit Name und Datum gekennzeichnet sein!

Substrate und Dokumente müssen einer Laufkarte oder einem Mitarbeiter zuzuordnen sein!

Schnelles Gehen und hektische Bewegungen unbedingt vermeiden!

Für die Dokumentation darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden!

Dokumente und Substrate

Im Reinraum darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden. Dieses ist im IMT-Lager vorrätig. Zulässig ist auch Normalpapier, das in Plastikfolie eingeschweißt ist. Alle schriftlichen Dokumentationen erfolgen auf Reinraumpapier und tragen den Namen des verantwortlichen Mitarbeiters und das Erstelldatum.

Kleinere Gegenstände wie Laufkarten oder Waferboxen werden in staubfreiem Zustand über die zwischen Raum 140 und 142 installierte Materialschleuse bzw. über die Schleuse von Raum 132d in den Reinraum eingebracht. Dazu können die einzuschleusenden Teile vor der Schleuse mit Stickstoff abgeblasen werden.

Die Kennzeichnung der Substrate erfolgt gemäß Arbeitsanweisung QS-Nr.: AA507.xx. Substrate müssen einer grünen oder blauen Laufkarte zuzuordnen sein. Wird eine Anlage längere Zeit mit einem Substrat belegt, wird die Laufkarte zum Anlagenbuch gelegt. So ist die Belegung für jedermann sicht- und nachvollziehbar. Substrate ohne Laufkarte dürfen jederzeit aus Anlagen entfernt werden! Nach Beendigung der Tätigkeit müssen Substrate aufgeräumt werden. Dazu gibt es Ablagen für die verschiedenen Prozessschritte oder der Reinraumverantwortliche weist für die verschiedenen Projekte Fächer oder Schubladen zu. Zur Verpackung von Proben dürfen nur dem Stand der Technik entsprechende Behältnisse verwendet werden. Substrate werden, bevor sie aus dem Reinraum gebracht werden, eingeschweißt.

Größere Gegenstände wie Neuanlagen oder Geräte dürfen nur gut gereinigt, ohne Verpackungsmaterial und nur nach Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen in den Reinraum gebracht werden.

Umgang mit Chemikalien

Für den Umgang mit Chemikalien gelten die Sicherheitsvorschriften des KIT. Die Arbeit mit Chemikalien bedarf der Kenntnis der Datenblätter, der Unfallverhütungsvorschriften, des Verhaltens im Notfall und der Bedienungsanleitungen. Speziell ist zu beachten: Beim Umgang mit Chemikalien sind geeignete Schutzhandschuhe (Vorsicht GG-Entwickler oder Aceton lösen einige Kunststoffe, wie z. B. Latex auf!) und Schutzbrille zu tragen.

Chemikalien werden grundsätzlich nach der Gefahrstoffverordnung gekennzeichnet. Bevor neue, für den Reinraum noch nicht zugelassene Chemikalien für wissenschaftliche Arbeiten im Reinraum benötigt werden, muss vorher der Reinraumverantwortliche informiert werden. Er entscheidet über die Zulassung und das weitere Vorgehen.

In oder an den Sicherheitsschränken liegen Listen aus, in denen die im Reinraum zugelassenen Chemikalien mit Haltbarkeitsdatum und gültiger IMT-Spezifikation erfasst sind. Weicht das in der Spezifikation festgelegte Haltbarkeitsdatum von dem auf der Flasche herstellerseits aufgedruckten Haltbarkeitsdatum ab, wird Letzteres unkenntlich gemacht und durch das Haltbarkeitsdatum gemäß gültiger IMT-Spezifikation ersetzt. Das Öffnungsdatum eines Chemikalienbehältnisses wird mit Unterschrift des Mitarbeiters auf dem jeweiligen Gebinde dokumentiert.

Jeder Mitarbeiter ist verpflichtet, regelmäßig, mindestens aber vierteljährlich, die von ihm benutzten Chemikalien auf ihre Haltbarkeit zu überprüfen und nicht mehr verwendbare Chemikalien entsorgen zu lassen. Ansprechpartner hierfür sind der Reinraumverantwortliche und seine Mitarbeiter. Grundsätzlich müssen alle Chemikalien nach der Arbeit in die vorgesehenen Schränke oder Abzüge geräumt werden.

Die Laborartikel und Chemikalien sind ausschließlich für den Gebrauch in den jeweiligen Reinräumen vorgesehen. Nach der Arbeit müssen Labor- und andere Gläser sorgfältig gereinigt, gespült und abgetrocknet werden. In Raum 132c und 143 stehen dafür Laborspülmaschinen bereit. Defekte oder angeschlagene Glasgeräte müssen in den Glasmüll entsorgt werden und dürfen nicht wieder in die Schränke geräumt werden.

Nutzung von Fertigungs- und Prüfmitteln

Für die Nutzung von Fertigungs- oder Prüfmitteln ist eine formlose Genehmigung und Einweisung durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen erforderlich. Die Einweisung kann an geeignete Mitarbeiter delegiert werden, muss aber durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen im Anlagenbuch gegengezeichnet werden.

Die längerfristige Belegung von Fertigungsmitteln muss vorher mit den Reinraumverantwortlichen abgesprochen werden. Bei der Fertigung mittels Laufkarte wird diese zum Anlagenbuch gelegt. Der Beginn und das Ende des Prozessschrittes kann im Anlagenbuch unter der Rubrik „Anlagenbelegung“ eingetragen werden!

Bei einem Defekt oder anderen Auffälligkeiten ist der Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortliche zu verständigen. An einem gesperrten Fertigungsmittel dürfen keine Fertigungsschritte, an einem gesperrten Prüfmittel dürfen keine Prüfungen mehr durchgeführt werden (Näheres regelt die Arbeitsanweisung QS-Nr.: AA508.xx).

Arbeitsplätze und Abzüge müssen vor Beginn der Arbeiten ausreichend gegen Verschmutzung geschützt werden. Den Arbeitsplatz eventuell mit Folie oder Papiertüchern auslegen. Eindeutig kennzeichnen, wer den Arbeitsplatz benutzt (z.B. Laufkarte mit Eintrag, Notiz mit Name und Datum). Arbeitsplätze und Abzüge müssen nach Beendigung der Arbeiten wieder sorgfältig gereinigt werden.

Abfallentsorgung

Chemikalien werden in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen und seinen Mitarbeitern entsorgt. Für kleinere Mengen gibt es in den Reinräumen gekennzeichnete Abfallbehälter, in denen der Abfall zunächst gesammelt wird. Die endgültige Entsorgung wird durch den Reinraumverantwortlichen und seine Mitarbeiter veranlasst.

Sonstige Abfälle werden in speziellen Abfallbehältern getrennt entsorgt. Diese sind mit entsprechenden Aufschriften gekennzeichnet. Es wird unterschieden in:

• Flachglas (Flachschalen, Pipetten)
• Laborglas (Duran, Bechergläser)
• Metalle verunreinigt
• Papier und Kunststoff
• Klebstoff (auch Klebstoffreste in/auf Tüchern/Kaptonfolie etc) und Behältnisse mit Klebstoff, Spritzenkanülen (Klebstoff vor dem Entsorgen in einem Abzug aushärten lassen!)
• Siliziumwafer

Mitgeltende Unterlagen

• Formblatt 527
• Formblatt 804
• Arbeitsanweisung 507
• Arbeitsanweisung 508
• Prozess 5
• Spezifikation 590
• Sicherheitsbestimmungen des KIT
• Betriebsanweisung "Alleinarbeit/Einzelarbeitsplatz"

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