Laser-Lithographie-Anlage: Difference between revisions
No edit summary |
No edit summary |
||
| Line 12: | Line 12: | ||
'''Gerätebezeichnung:''' |
'''Gerätebezeichnung: Heidelberg Instuments DWL66fs''' |
||
'''Geräteverantwortlicher:[[Benutzer:Stefan.Hengsbach | Hengsbach, Stefan]]''' |
|||
'''Geräteverantwortliche/Operateure:''' |
|||
'''Standort:''' |
'''Standort: Reinraum im Gelblichtbereich''' |
||
'''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' |
'''Prüfmittel/Fertigungsnummer:''' |
||
| Line 39: | Line 39: | ||
== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
||
[[Benutzer:Stefan.Hengsbach | Hengsbach, Stefan]] |
|||
Revision as of 14:53, 13 May 2013
[[Datei:<Dateiname>|<Gewünschte Breite in Pixeln>|thumb|right|<Bildunterschrift>]]
Gerätebezeichnung: Heidelberg Instuments DWL66fs
Geräteverantwortlicher: Hengsbach, Stefan
Standort: Reinraum im Gelblichtbereich
Prüfmittel/Fertigungsnummer:
Spezifikations-Nummer:
Kurzbeschreibung
Alternativen
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Liste der Fertigungsmittel.
Spezifikationen des Geräts
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen
Etablierte Prozesse
Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).
Einschränkungen
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?
Eingewiesene Nutzer
