Laser-Lithographie-Anlage: Difference between revisions
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Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Die Anlage ist vielfältig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. |
Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Die Anlage ist vielfältig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. |
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Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten. |
Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten. |
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Die erreichbare Auflösung hängt von verschiedenen Faktoren ab (Design, verwendeter Resist…) sowie vom verwendeteten Schreibkopf. Zur Verfügung stehen zwei Schreibköpfe. „10mm“ und „4mm“. Die Angaben beziehen sich auf den Arbeitsabstand der Schreibköpfe. Nominell habe die Köpfe eine Auflösung von 2,5µm (10mm-Kopf) und 1µm (4mm-Kopf). |
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==Funktionsweise== |
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Revision as of 17:34, 5 June 2013
Gerätebezeichnung: Heidelberg Instuments DWL66fs
Geräteverantwortlicher: Hengsbach, Stefan
Standort: Reinraum im Gelblichtbereich
Prüfmittel/Fertigungsnummer:
Spezifikations-Nummer:
Kurzbeschreibung
Der DWL66fs von Heidelberg Instruments, kurz Laserschreiber; ist eine Lithographiesystem zum maskenlosen Belichten von Substraten.
Technische Beschreibung
Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Die Anlage ist vielfältig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten.
Die erreichbare Auflösung hängt von verschiedenen Faktoren ab (Design, verwendeter Resist…) sowie vom verwendeteten Schreibkopf. Zur Verfügung stehen zwei Schreibköpfe. „10mm“ und „4mm“. Die Angaben beziehen sich auf den Arbeitsabstand der Schreibköpfe. Nominell habe die Köpfe eine Auflösung von 2,5µm (10mm-Kopf) und 1µm (4mm-Kopf). <to be continued)
Funktionsweise
200|thumb|right|Funktionsweise des Laserschreibers
Eingewiesene Nutzer
