Laser-Lithographie-Anlage

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Gerätebezeichnung: Heidelberg Instuments DWL66fs

Geräteverantwortlicher: Hengsbach, Stefan

Standort: Reinraum im Gelblichtbereich

Fertigungsmittelnummer:

Spezifikations-Nummer:

Kurzbeschreibung

Der DWL66fs von Heidelberg Instruments, kurz Laserschreiber; ist eine Lithographiesystem zum maskenlosen Belichten von Substraten.

DWL66fs

Technische Beschreibung

Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Die Anlage ist vielfältig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten.

Die erreichbare Auflösung hängt von verschiedenen Faktoren ab (Design, verwendeter Resist…) sowie vom verwendeteten Schreibkopf. Zur Verfügung stehen zwei Schreibköpfe. „10mm“ und „4mm“. Die Angaben beziehen sich auf den Arbeitsabstand der Schreibköpfe. Nominell habe die Köpfe eine Auflösung von 2,5µm (10mm-Kopf) und 1µm (4mm-Kopf). <to be continued)

Funktionsweise

200|thumb|right|Funktionsweise des Laserschreibers

Eingewiesene Nutzer

Hengsbach, Stefan