Sputteranlage UNIVEX 500: Difference between revisions
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Revision as of 11:09, 17 July 2013
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Gerätebezeichnung: Sputteranlage UNIVEX 500
Geräteverantwortliche/Operateure: Uwe Köhler/ Birgit Hübner
Standort: Bau 309, Raum
Prüfmittel/Fertigungsnummer: SA 0818
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Die Anlage dient zum Kohlenstoff(C) - sputtern für Trennschichten.
Alternativen
Spezifikationen des Geräts
Prozessgas: Argon
Zum Belüften der Vakumanlage dient Stickstoff.
Etablierte Prozesse
Si-Substrate (versehen mit 1% SiO2) werden mit ca. 50nm Kohlenstoff (C) beschichtet.
Einschränkungen
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?
Eingewiesene Nutzer
Personen bitte immer mit Nachname, Vorname verknüpfen.
Kategorie:Geräte - Devices Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment
