Sputteranlage UNIVEX 500: Difference between revisions

Revision as of 11:26, 17 July 2013

Gerätebezeichnung: Sputteranlage UNIVEX 500

Geräteverantwortliche/Operateure: Uwe Köhler/ Birgit Hübner

Standort: Bau 309, Raum

Prüfmittel/Fertigungsnummer: SA 0818

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Die Anlage dient zum Kohlenstoff(C) - sputtern für Trennschichten.

Prozessgas: Argon

Zum Belüften der Vakumanlage dient Stickstoff.

Revision as of 11:25, 17 July 2013 (view source) Birgit.Huebner (talk \| contribs) No edit summary ← Older edit		Revision as of 11:26, 17 July 2013 (view source) Birgit.Huebner (talk \| contribs) No edit summary Newer edit →
Line 8:		Line 8:
	[[Datei:Sputteranlage_001_(Small).jpg\|250px\|thumb\|right\|<Sputteranlage - Bedienelemente>]]		[[Datei:Sputteranlage_001_(Small).jpg\|250px\|thumb\|right\|<Sputteranlage - Bedienelemente>]]

	[[Datei:~~Innenraum_Sputteranlage_001_(Small)~~.jpg\|250px\|thumb\|right\|<Sputteranlage - Innenraum>]]		[[Datei:Innenraum_Sputteranlage.jpg\|250px\|thumb\|right\|<Sputteranlage - Innenraum>]]