Sputteranlage UNIVEX 500

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Gerätebezeichnung: Sputteranlage UNIVEX 500

Geräteverantwortliche/Operateure: Uwe Köhler, Birgit Hübner

Standort: Bau 309, Raum

Prüfmittel/Fertigungsnummer: SA 0818

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Die Anlage dient zum Kohlenstoff(C) - sputtern für Trennschichten.

Spezifikationen des Geräts

Prozessgas: Argon

Zum Belüften der Vakumanlage dient Stickstoff.

Etablierte Prozesse

• 4" Si-Substrate (versehen mit 1% SiO2) mit ca. 50 nm Kohlenstoff (C) beschichten.

• Glasobjektträger mit ca. 100 nm Kohlenstoff (C) beschichten.

Eingewiesene Nutzer

Köhler, Uwe

Hübner, Birgit

Kategorie:Geräte - Devices Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment