CryoVac: Difference between revisions
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An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich. Für den MicroWatcher sind Linsen mit verschiedene Vergrößerungen vorhanden (50-, 100-, 200- und 500-fache Vergrößerung). Es besteht zudem die Möglichkeit zwei Kreuze zur Abstandsmessung zu positionieren (Kalibrieren!). Durch Öffnen/Schließen des Stickstofftank-Ventils bzw. durch Einstellen einer Erhöhten Soll-Temperatur am Tmeperturregelintsurment kann die Temperatur variiert werden. Für einen Zyklus von -50°C bis +50°C muss man ca 45 min rechnen. Die Aufzeichnung der Auslenkung sowie des Widerstandes ist derzeit nur von Hand möglich. (Unter anderem weil das Bild sehr stark driftet und somit der Bildbereich die Probe während eines Zyklus mind. einmal verlässt.) |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich. |
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== Einschränkungen == |
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Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend großer Ungenauigkeit. |
Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend großer Ungenauigkeit. |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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Revision as of 16:37, 26 July 2013
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Gerätebezeichnung: CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Lambrecht, Franziska
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes sowie der Auslenkung in Abhängigkeit der Temperatur. Durch Kühlung mit flüssigen Stickstoff (nicht aktiv!) sind Temperature bis -100°C möglich jedoch mit langen Wartezeiten verknüpft.
Messung
An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich. Für den MicroWatcher sind Linsen mit verschiedene Vergrößerungen vorhanden (50-, 100-, 200- und 500-fache Vergrößerung). Es besteht zudem die Möglichkeit zwei Kreuze zur Abstandsmessung zu positionieren (Kalibrieren!). Durch Öffnen/Schließen des Stickstofftank-Ventils bzw. durch Einstellen einer Erhöhten Soll-Temperatur am Tmeperturregelintsurment kann die Temperatur variiert werden. Für einen Zyklus von -50°C bis +50°C muss man ca 45 min rechnen. Die Aufzeichnung der Auslenkung sowie des Widerstandes ist derzeit nur von Hand möglich. (Unter anderem weil das Bild sehr stark driftet und somit der Bildbereich die Probe während eines Zyklus mind. einmal verlässt.)
Einschränkungen
Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend großer Ungenauigkeit.
Alternativen
Eingewiesene Nutzer
Gültig, Marcel Lambrecht, Franziska
