LIGA: Difference between revisions
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'''LIGA''' (Abkürzung für '''Li'''thographie, '''G'''alvanik, '''A'''bformung) ist ein am IMT entwickelter Prozess zur Herstellung von Mikrostrukturen. |
'''LIGA''' (Abkürzung für '''Li'''thographie, '''G'''alvanik, '''A'''bformung) ist ein am IMT entwickelter Prozess zur Herstellung von Mikrostrukturen. |
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LIGA (Abkürzung für Lithographie, Galvanik, Abformung) ist ein am IMT entwickelter Prozess zur Herstellung von Mikrostrukturen.
