User:Kira.Koehnle: Difference between revisions
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* Doktorand am IMT seit: April 20112 |
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* Thema: Nanophotonische und nanoplasmonische Bauteile und deren Herstellung |
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** Herstellung und Charakterisierung von "Sub-wavelength Grating Waveguides" |
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** Herstellung von Ringresonatoren in Siliziumnitrid |
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** Einführung Negativlack für Elektronenstrahllithographie am IMT |
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** Proximity-Korrektur-Strategie |
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* Bisherige Studenten |
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** Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012 |
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* Veröffentlichungen: Noch keine |
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** Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. März 2013) |
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** CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012) |
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* Ultraschall- und Megaschall |
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* CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen) |
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* Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen) |
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== Weitere Aufgaben am IMT == |
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*With the institute since April 2012 |
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*Topic: Nanophotonic and nanoplasmonic devices and their fabrication |
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** Fabrication and characterization of "Sub-wavelength Grating Waveguides" |
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** Fabrication of ring resonators in silicon-rich silicon nitride |
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** Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012 |
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Revision as of 13:32, 3 April 2013
Kira Köhnle
Fachbereich: F&E7
Raum: 222
Telefon: 29239
e-mail: kira.koehnle@kit.edu
Promotion
- Doktorand am IMT seit: April 20112
- Thema: Nanophotonische und nanoplasmonische Bauteile und deren Herstellung
- Unterthemen:
- Herstellung und Charakterisierung von "Sub-wavelength Grating Waveguides"
- Herstellung von Ringresonatoren in Siliziumnitrid
- Einführung Negativlack für Elektronenstrahllithographie am IMT
- Proximity-Korrektur-Strategie
- Bisherige Studenten
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - März bis Juni 2013
- Veröffentlichungen: Noch keine
- Teilnahme an Konferenzen, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14. - 15. März 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- HMDS-Ofen Star-2000
- Spincoater (OPTIcoat ST22+)
- VISTEC VB6 (nicht im Problemfall, nur wenn's läuft)
- Ultraschall- und Megaschall
- Plasmaverascher 4TEC
- Ofen für hohe Temperaturen in Bau 321 (Oxidation von Silizium bei 900-1000°C)
Prozesse
- Elektronenstrahllithographie (komplette Prozesskette)
- Spin-coating, speziell von kleinen Chips Aufschleudern/Spin coating
- Trockenätzen für Silizium und Siliziumnitrid
- Schwefelsäure
- Reinigungsprozesse
Software
- CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen)
- Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen)
- Inkscape
Weitere Aufgaben am IMT
- Aktueller Doggiesprecher zusammen mit Benutzer:Radwanul.Siddique
English version
- With the institute since April 2012
- Topic: Nanophotonic and nanoplasmonic devices and their fabrication
- Subtopics:
- Fabrication and characterization of "Sub-wavelength Grating Waveguides"
- Fabrication of ring resonators in silicon-rich silicon nitride
- Testing of negative resists for the IMT
- Proximity correction mechanism
- Students
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - March to June 2013
- Papers: --
- Konferences, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. March 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
