Messwafer

English Version

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Gerätebezeichnung:

Geräteverantwortliche/Operateure:

Standort:

Prüfmittel/Fertigungsnummer:

Alternativen

Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Liste der Fertigungsmittel.

Spezifikationen des Geräts

(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen

Etablierte Prozesse

Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).

Einschränkungen

Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?

Eingewiesene Nutzer

Personen bitte immer mit Nachname, Vorname verknüpfen.

Funktionen

• Temperaturbereich:
• Zeitliche Auflösung:
• Besonderheiten:

Zubehör

• Messwafer: Si-Wafer mit 9 Sensoren
• Sendestation SensArray
• 2 Kalibrierwiderstände für Sendestation
• PDA mit SD-Karte und USB-Kabel
• Software THERMAL TRACK (Installationsdatei auf SD-Karte)
• Optional: Software Microsoft Active Sync (Installationsdatei auf SD-Karte)

Daten aufnehmen

Vorab: Installation der Software THERMAL TRACK auf PC durch Hr. Gutjahr oder Hr. Klein.

1. Verbinden des Messwafers mit der Sendestaton SensArray.
2. PDA einschalten.
   1. Passwort: 07648
   2. Kontrolle: Bluetooth an?
      • Auf Startseite des PDAs ggf. auf Bluetooth-Symbol klicken, wenn Symbol grauunterlegt und weißes X auf rotem Grund.
   3. Start > THERMAL TRACK
   4. Dropdown-Menü: User 1
   5. Log On klicken
   6. Enter Pin: 07648
   7. Menu > Measure > Timed
   8. Messzeit einstellen: obere Hälfte klicken = +1 / untere Hälfte klicken = -1
   9. Häkchen vor Log Data setzen
   10. Optional: aus Dropdownliste Aktion für PDA nach Ende der Messung wählen (Stay Ready / Log Off / Power Down / Log Off and Power Down)
   11. Start klicken
   12. Optional: Kommentar eingeben > OK klicken
   13. Messung startet automatisch

Bemerkungen: Datei-Name wird vom Programm automatisch aus Datum und Uhrzeit generiert. Nachträgliche Umbenennung oder Kommentierung möglich:

• Menu > Data > Manage Files…
• Aus Dropdownliste Datalog Files auswählen
• Rename klicken
• Namen ändern, OK klicken

Daten in Excel importieren

1. PDA über USB-Kabel an PC anschließen.
2. PDA entsperren. Passwort: 07648
3. ActiveSync startet u.U. automatisch. Abbrechen und Fenster schließen / minimieren
4. Auf PC Programm THERMAL TRACK starten.
5. Retrieve > Data File
6. Datei mit Messdaten auswählen
7. Speicherort auswählen
8. Automatische Importierung der Messdaten in Excel-Datei.

Standort/Lagerort

Im Hochschrank im Durchgang zwischen Reinraum (R. 142) und E-Beam

Eingewiesene Personen

• Geräteverantwortlicher:
• Jan Meiser