Laser-Lithographie-Anlage: Difference between revisions
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Der DWL66fs von Heidelberg Instruments, kurz Laserschreiber; ist eine Lithographiesystem zum maskenlosen Belichten von Substraten. |
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Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Er kann ist vielfälltig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. |
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Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten. |
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== Alternativen == |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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== Eingewiesene Nutzer == |
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Revision as of 17:04, 5 June 2013
[[Datei:<Dateiname>|<Gewünschte Breite in Pixeln>|thumb|right|<Bildunterschrift>]]
Gerätebezeichnung: Heidelberg Instuments DWL66fs
Geräteverantwortlicher: Hengsbach, Stefan
Standort: Reinraum im Gelblichtbereich
Prüfmittel/Fertigungsnummer:
Spezifikations-Nummer:
Kurzbeschreibung
Der DWL66fs von Heidelberg Instruments, kurz Laserschreiber; ist eine Lithographiesystem zum maskenlosen Belichten von Substraten.
Datei:Prinzip_Laserschreiber.png Funktionsweise des Laserschreibers
Technische Beschreibung
Der Laserschreiber kann verwendet werden um hochauflösende 2D-Strukturen zu schreiben. Er kann ist vielfälltig einsetzbar und wird unter Anderem zur Herstellung von Pinhole oder Säulenstrukturen im biologischen Bereich, zur Herstellung von Gitterstrukturen für die Röntgentechnologie und der Erzeugung von Mikroaktoren eingesetzt. Die verwendetet Wellenlänge beträgt 355nm womit sich sowohl Su-8 (negativ) als auch AZ-Resiste (positiv) belichten lassen. PMMA lässt sich aufgrund der Wellenlänge nicht belichten.
Funktionsweise
200|thumb|right|Funktionsweise des Laserschreibers
Eingewiesene Nutzer
