Resistlabor: Difference between revisions
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Revision as of 11:15, 2 July 2013
Das Resistlabor des IMT
Das Resistlabor ist ein Teil des IMT - Reinraums der Klasse ISO 7(nach DIN EN ISO 14644). Dieser Raum ist dem Funktionsbereich Mikrofertigung (MF) zugeordnet. Hier befindet sich unter anderem der Resistkleberoboter, die Nassprozessanlage zum Entwickeln und zwei NANOSCRIBE Geräte sowie die Gefriertrocknungsanlage mit Cyclohexan.
Das IMT-Resistlabor kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. IMT Reinraum
