CryoVac: Difference between revisions
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Revision as of 16:18, 26 July 2013
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Gerätebezeichnung: CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Lambrecht, Franziska
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes sowie der Auslenkung in Abhängigkeit der Temperatur. Durch Kühlung mit flüssigen Stickstoff (nicht aktiv!) sind Temperature bis -100°C möglich jedoch mit langen Wartezeiten verknüpft.
Alternativen
Spezifikationen des Geräts
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen
Etablierte Prozesse
An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich.
Einschränkungen
Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend großer Ungenauigkeit.
Eingewiesene Nutzer
Gültig, Marcel Lambrecht, Franziska
