Sputter-Anlage: Difference between revisions
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*mittels des Nadelventils Argon einlassen (ca. <math> 5\times 10^-2 </math> mbar) |
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*START drücken und sofort Emissionsregler auf den gewünschten Wert einstellen, z.B. 50mA |
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!! bei Plasma Flackern Argon Nadelventil weiter öffnen !! |
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*Hauptschalter ausschalten (MAIN -> off) |
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*Probe entnehmen (Glaszylinder belüftet sich automatisch) |
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*Hauptventile für Argon und Wasser schließen |
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== Alternativen == |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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== Einschränkungen == |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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Revision as of 11:07, 1 August 2013
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Gerätebezeichnung: Sputter-Anlage
Geräteverantwortliche/Operateure: Gültig, Marcel
Standort: B301, R202
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Sputter-Anlage zur Gold-Beschichtung.
Beschichtung
Vorbereitung
- Probe einlegen
- sicherstellen, dass Nadelventil für Argon am Glaszylinder der Anlage geschlossen ist
- Hauptventile für Argon und Wasser öffnen
- Sputterzeit einstellen (in Sekunden)
- Emisionsregler auf 0 stellen
- Hauptschalter einschalten (MAIN -> on)
- Drehschalter auf grün stellen (auf dem Arm oberhalb des Glaszylinders)
- warten bis IKR leuchtet
Start
- mittels des Nadelventils Argon einlassen (ca. <math> 5\times 10^-2 </math> mbar)
- START drücken und sofort Emissionsregler auf den gewünschten Wert einstellen, z.B. 50mA
!! bei Plasma Flackern Argon Nadelventil weiter öffnen !!
Ende
- Emissionsregler zurück auf 0 setzten
- Argon Nadelventil schließen
- Hauptschalter ausschalten (MAIN -> off)
- Probe entnehmen (Glaszylinder belüftet sich automatisch)
- Hauptventile für Argon und Wasser schließen
Einschränkungen
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?
Eingewiesene Nutzer
Gültig, Marcel Ossmer, Hinnerk Lambrecht, Franziska
