Reinraumregeln: Difference between revisions
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Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. |
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Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665) |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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Argon dient als Prozessgas. |
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Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben. |
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Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert. |
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Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, |
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Genauigkeit: +- 0,01 mm |
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== Etablierte Prozesse == |
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Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind: |
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* 4", 6" - Si-Wafer |
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Standardgrößen der Resistfolien sind: |
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* 75 x 30 mm² |
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* 63 x 23 mm² |
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* runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm² |
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* kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm² |
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== Einschränkungen == |
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Revision as of 11:19, 5 November 2013
Kategorie:Allgemeines English Version
250px|thumb|right|<Kleberoboter im Resistlabor>
Kurzbeschreibung
Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665)
Spezifikationen des Geräts
Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben.
Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert.
Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, Genauigkeit: +- 0,01 mm
Etablierte Prozesse
Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind:
- 4", 6" - Si-Wafer
- 4" - Keramikwafer
- 4" - Glaswafer
Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden.
Standardgrößen der Resistfolien sind:
- 75 x 30 mm²
- 63 x 23 mm²
- runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm²
- kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²
