Reinraumregeln

Kategorie:Allgemeines English Version

250px|thumb|right|<Kleberoboter im Resistlabor>

Kurzbeschreibung

Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665)

Spezifikationen des Geräts

250px|thumb|right|<Kleberoboter im Resistlabor>

Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben.

Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert.

Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, Genauigkeit: +- 0,01 mm

Etablierte Prozesse

Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind:

• 4", 6" - Si-Wafer

• 4" - Keramikwafer

• 4" - Glaswafer

Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden.

Standardgrößen der Resistfolien sind:

• 75 x 30 mm²

• 63 x 23 mm²

• runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm²

• kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²