Focused Ion Beam (FIB): Difference between revisions
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'''Standort:''' [http://www.int.kit.edu Institut für Nanotechnologie (INT)] |
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== Alternativen == |
== Alternativen == |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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* REM |
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* AFM |
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== Spezifikationen des Geräts == |
== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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== Etablierte Prozesse == |
== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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== Einschränkungen == |
== Einschränkungen == |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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* [[Torsten Scherer]] |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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Revision as of 18:36, 14 March 2014
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Gerätebezeichnung: Focused Ion Beam (FIB)
Geräteverantwortliche/Operateure: Torsten Scherer
Standort: Institut für Nanotechnologie (INT)
Kurzbeschreibung
Alternativen
ohne Trennfunktion:
- REM
- AFM
