Haftung - adhesion: Difference between revisions
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Revision as of 12:09, 20 August 2014
Mit Haftung (Adhäsion) ist im Bereich der Mikrostrukturtechnik meistens die Haftung zwischen Trägersubstrat und Mikrostrukturen gemeint. Dazu zählt die Haftung zwischen
- Trägersubstrat und Resist
- Trägersubstrat und Metall
Haftung ist eines der zentralen Themen der Mikrostrukturtechnik. Herausforderungen sind:
- dauerhaft ausreichende Haftung
- ggf. Wiederablösen nach bestimmtem Prozessschritt
Einflüsse auf Haftung
- Materialkombination: z.B. Träger - Metall
- Temperatur: unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten im Material führen zu Spannungen an der Grenzfläche
Prinzipien und Prozesse zur Haftungsverbesserung
Haftvermittler
- TI Prime
- Omnicoat
