Haftung - adhesion

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Mit Haftung (Adhäsion) ist im Bereich der Mikrostrukturtechnik meistens die Haftung zwischen Trägersubstrat und Mikrostrukturen gemeint. Dazu zählt die Haftung zwischen

• Trägersubstrat und Resist
• Trägersubstrat und Metall

Haftung ist eines der zentralen Themen der Mikrostrukturtechnik. Herausforderungen sind:

• dauerhaft ausreichende Haftung
• ggf. Wiederablösen nach bestimmtem Prozessschritt

Einflüsse auf Haftung

• Materialkombination: z.B. Träger - Metall
• Temperatur: unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten im Material führen zu Spannungen an der Grenzfläche

Prinzipien und Prozesse zur Haftungsverbesserung

Haftvermittler

• TI Prime
• Omnicoat

Vergrößerung der Oberfläche

• mechanisch
  • Sandstrahlen
  • Schmirgelpapier
• physikalisch
  • Argon-Sputtern: Sentech
• chemisch
  • trocken-chemisch: R3T
  • nass-chemisch