Plasmaätzer 300E

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Gerätebezeichnung: Plasmaätzer 300E

Geräteverantwortliche/Operateure: Marco Heiler

Standort: B. 301, R. 302

Prüfmittel/Fertigungsnummer: AE 0222

Hersteller: Technics Plasma GmbH

Alternativen

Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Fertigungsmittel Liste.

Spezifikationen des Geräts

(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen

Etablierte Prozesse

Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).

Einschränkungen

Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?

Eingewiesene Nutzer

Personen bitte immer mit Nachname, Vorname verknüpfen.