RIE Plasmalab 80 Plus: Difference between revisions
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Revision as of 23:50, 25 March 2013
Die RIE80+ ist ein Gerät zum Reaktiven Ionenätzen mittels Sauerstoff oder Argon. Die Anlage verfügt über ein gerichtetes Plasma, im Gegensatz zur 4TEC.
Funktionen
- Gase: Sauerstoff, Argon
Standort
Im R.142 (Reinraum) vor dem Eingang zur Gold-Galvanik.
Eingewiesene Personen
- Geräteverantwortlicher: Uwe Köhler
- Thomas Duttenhofer
- Alexandra Karbacher
- Christin Straus
- Konradin Kaiser
- Jan Meiser
Alternativen
Für die Strukturierung von Materialien, isb. Silzium, bietet die RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100 Anlage eine größere Auswahl an Prozessgasen sowie die Möglichkeit der Substratkühlung.
