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** CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012) |
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* Elektronenstrahllithographie (komplette Prozesskette) |
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* Trockenätzen für Silizium und Siliziumnitrid |
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* Schwefelsäure |
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=== Software === |
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* CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen) |
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* Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen) |
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* Aktueller Doggiesprecher zusammen mit [[Benutzer:Radwanul.Siddique]] |
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** CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012) |
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Revision as of 12:01, 3 April 2013
Kira Köhnle
Fachbereich: F&E 7
Raum: 222
Telefon: 29239
e-mail: kira.koehnle@kit.edu
Promotion
- Doktorand am IMT seit: April 20112
- Thema: Nanophotonische und nanoplasmonische Bauteile und deren Herstellung
- Bisherige Studenten
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - März bis Juni 2013
- Veröffentlichungen: Noch keine
- Teilnahme an Konferenzen, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. März 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- HMDS-Ofen Star-2000
- Spincoater (OPTIcoat ST22+)
- VISTEC VB6 (nicht im Problemfall, nur wenn's läuft)
- Ultraschall- und Megaschall
- Plasmaverascher 4TEC
Prozesse
- Elektronenstrahllithographie (komplette Prozesskette)
- Spin-coating, speziell von kleinen Chips Aufschleudern/Spin coating
- Trockenätzen für Silizium und Siliziumnitrid
- Schwefelsäure
Software
- CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen)
- Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen)
Weitere Aufgaben am IMT
- Aktueller Doggiesprecher zusammen mit Benutzer:Radwanul.Siddique
English version
- With the institute since April 2012
- Topic: Nanophotonic and nanoplasmonic devices and their fabrication
- Students
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - March to June 2013
- Papers: --
- Konferences, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. March 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
