VISTEC VB6: Difference between revisions
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Latest revision as of 16:03, 19 November 2016
Gerätebezeichnung:
VISTEC VB6
Geräteverantwortliche/Operateure: Peter Jakobs
Standort: Reinraumbereich Ebeam
- Gerät in R107.9 (Tel. 25991)
- Bedienerraum in R107.8 (Tel. 25979)
- Wasserbäder in R107.10 (Tel. 25997)
Prüfmittel/Fertigungsnummer: ??
Spezifikations-Nummer: ??
Kurzbeschreibung
Das VISTEC VB6 ist ein Elektronenstrahlschreiber wird wird zur Lithographie verwendet.
Alternativen
- Jeol am CFN - nur 50 keV
- e-line Raith am INT ??
- e-line Raith am IMS
Spezifikationen des Geräts
Beschreibung auf der KMNF-Seite: http://www.knmf.kit.edu/downloads/KNMF_Technology_Description_1_IMT_EBL.pdf
Etablierte Prozesse
- PMMA mit hohen Aspektverhältnissen
Einschränkungen
- Direct Write, d.h. zueinander justierte Belichtungen nur unter Absprache mit Hr. Jakobs.
Eingewiesene Nutzer
| Nutzer | Sonderaufgabe |
| Nees, Marie-Kristin | Spin-coating, Entwicklung |
| Bacher, Andreas | Direct Write, Layout |
| Köhnle, Kira | Prozessentwicklung Negativlacke, Proximitykorrektur |
