AA505 Reinraumregeln

English version

Arbeitsanweisung	505
Revision	02
Stand	15.05.2017
Bearbeiter	Köhler

Zweck

Beschreibung der Regeln zum Betreten und für das Arbeiten in den IMT-Reinräumen

Anwendung

Diese Arbeitsanweisung gilt in den Räumen 107.8 bis 107.10, 132b,c und 137 bis 148 des IMT.

Begriffe und Abkürzungen

Begriffe

Der Reinraumbereich besteht aus den Räumen 107.8 bis 107.10, 132b,c und 137 bis 148 des IMT.

Der Grauraum besteht aus den Räumen 139, 140 und 140b des IMT.

Schleusenbereiche befinden sich in den Räumen 144/145 und 132d. Im Schleusenbereich wird die endgültige Reinraumkleidung angelegt.

Abkürzungen

CTE	Core Technologies
IMT	Institut für Mikrostrukturtechnik
QS-Nr.	Qualitätssicherungs-Nummer

Beschreibung

Allgemeines

Die IMT-Reinräume sind spezielle Labore, in denen einige der wichtigsten Geräte für die verschiedenen Lithografieverfahren des IMT genutzt werden. Zur Aufrechterhaltung der hohen Anforderungen an die Raumspezifikation (vgl. Spezifikation QS-Nr.: SP590.xx) gelten in diesen Räumen spezielle Kleidervorschriften und Verhaltensregeln. Der Reinraumbereich ist nur einem begrenzten und eigens geschulten Personenkreis zugänglich.

Den Reinraumbereich dürfen nur Personen selbstständig betreten und darin arbeiten, die die vorgeschriebenen Einweisungsschulungen (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx) absolviert haben. Anschließend wird in einem Kick-off-Meeting (Formblatt QS-Nr.: FB527.xx) die Einarbeitung und Schulung des zukünftigen Nutzers festgelegt.

Einen selbständigen Zutritt zum Reinraum erhalten in der Regel nur Personen, deren Arbeiten im Reinraum sich länger als drei Monate erstrecken.

Alle anderen Personen (Besucher, Gastwissenschaftler, Studenten, Praktikanten, externes Servicepersonal etc.) dürfen nur unter der Verantwortung und Aufsicht eines IMT-Mitarbeiters mit Zugangsberechtigung (Betreuer oder ein von ihm beauftragter Mitarbeiter) den Reinraumbereich betreten.

Besuchergruppen dürfen den Reinraumbereich nur in Abstimmung mit dem Laborverantwortlichen betreten. Für die Öffentlichkeit bestimmte Film-, Ton- und Bildaufnahmen dürfen nur in Abstimmung mit dem Bereich CTE aufgezeichnet werden.

Das Arbeiten mit Fertigungs- und Prüfmitteln bedarf einer Einweisung. Diese wird nach Absprache durch den jeweiligen Fertigungs- und Prüfmittelverantwortlichen (siehe Anlagenbuch) durchgeführt und im Anlagenbuch dokumentiert.

In den Reinräumen gelten die allgemeinen Sicherheitsregelungen des KIT-Campus Nord.

Der Reinraumverantwortliche und seine Mitarbeiter sind bezüglich des Verhaltens im Reinraumbereich weisungsbefugt. Sie sind auch die Ansprechpartner bei Fragen zum Umgang mit Arbeitsmitteln oder Chemikalien. Darüber hinaus ist jeder Mitarbeiter aufgefordert, eigenes Fehlverhalten, aber auch falsches Reinraumverhalten von Kolleginnen und Kollegen, zu korrigieren.

Das Arbeiten in den Reinräumen ist während der regulären Arbeitszeiten (Montag–Freitag, 7:00–17:00 Uhr) gestattet. Zu diesen Zeiten kann der Reinraum über beide Schleusenbereiche mit den freigeschalteten Betriebsausweisen betreten werden. Die Alleinarbeit außerhalb dieser Zeiten ist in der IMT-Betriebsanweisung „Alleinarbeit/Einzelarbeitsplatz“ geregelt. Der Reinraumbereich ist als Bereich mit erhöhter Gefährdung eingestuft.

Zutrittsberechtigung für die Reinräume

Um einen selbstständigen Zugang (Betriebsausweis freigeschaltet) zu erhalten, müssen folgende Voraussetzungen erfüllt sein:

1.	Die Wochenarbeitszeit im Reinraum und der gesamte Aufenthalt am IMT müssen mehr als sechs Stunden bzw. mehr als drei Monate umfassen.
2.	Der Mitarbeiter hat an einer der vierteljährlich stattfindenden, allgemeinen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder hat die selbstgeführte Sicherheitsunterweisung am PC absolviert (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx).
3.	Der Mitarbeiter hat an der jährlichen, arbeitsplatzbezogenen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder wurde im Reinraum vom Reinraumverantwortlichen geschult (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx).

Personen, die (ggf. noch) keinen selbständigen Zugang zum Reinraum haben, können unter Verantwortung des Betreuers oder eines von ihm beauftragten IMT-Mitarbeiters den Reinraum betreten und dort an Geräten arbeiten, an denen sie eingewiesen sind. Voraussetzung hierfür ist immer eine Unterweisung gemäß Kapitel 4.2, Pkt. 2. Für kurzfristige Arbeiten, studentische Praktika oder Ähnliches trägt immer der jeweilige Betreuer mit eigenem Reinraumzutritt die Verantwortung. Unter seiner Aufsicht können auch kurzfristige Aufgaben oder Messaufgaben in wenig gefährdeten Bereichen (z. B. Tastschnittgeräte, AFM oder REM) selbstständig durchgeführt werden. Ohne Betreuer mit eigener Zutrittsberechtigung ist ein Arbeiten im Reinraum verboten.

Ankleiden zum Betreten der Reinräume

Oberbekleidung, die im Reinraum nicht benötigt wird, wie zum Beispiel Pullover, Jacke oder Mantel wird im Schleusenbereich in einem Kleiderschrank aufgehängt.

Zuerst werden die Straßenschuhe abgelegt und in eines der dafür vorgesehen Regalfächer abgestellt. Danach werden die persönlichen Reinraumschuhe angezogen.

Personen, die nicht über persönliche Reinraumschuhe verfügen, ziehen über ihre Straßenschuhe reinraumgeeignete Überschuhe, entweder aus dem automatischen Schuhspender oder aus der Box im Schleusenbereich. Beim Verlassen des Reinraumbereiches werden die Überschuhe in den Abfallbehälter im Schleusenbereich geworfen.

Über eine Fußmatte wird dann der Grauraum in Richtung Reinraum betreten.

Im Schleusenbereich wird die Reinraumoberbekleidung angelegt. Diese besteht zusätzlich zu den bereits angelegten Reinraumschuhen bzw. Überschuhen aus einer Haube, einem Overall und Handschuhen.

Mitarbeiter mit persönlicher Reinraumoberbekleidung ziehen zuerst ihre Haube und dann ihren Overall an. Dabei wird darauf geachtet, dass die Haube alle Haare bedeckt und die Ärmel des Overalls und das Overalloberteil beim Anziehen (und später auch beim Ausziehen) den Boden nicht berühren. Alle Reiß- und Klettverschlüsse müssen geschlossen sein.

Die gleiche Vorgehensweise gilt auch für Personen, die nicht über persönliche Reinraumkleidung verfügen. Jedoch verwenden diese eine Einmalhaube und einen Gästeoverall.

Im Schleusenbereich befinden sich Unterziehhandschuhe aus Gewebe und Latexhandschuhe in verschiedenen Größen. Gäste verwenden nur die Latexhandschuhe. Mitarbeiter mit Zugangsberechtigung haben in der Regel eine persönliche Box mit ihren Handschuhen. Spezielle Handschuhe für die verschiedenen Chemikalien werden auf Wunsch bereitgestellt.

Grundregeln des Verhaltens im Reinraum

Zur Aufrechterhaltung der Reinraumbedingungen in den IMT-Reinräumen wird von allen in diesen Räumen tätigen Personen ein angemessenes Verhalten und besondere Disziplin erwartet. Grundsätzlich gelten in den IMT-Reinräumen die nachfolgend aufgeführten Verhaltensregeln und Vorgehensweisen:

Auf saubere Handhabung der Substrate achten, Verunreinigungen, Partikel und Fingerabdrücke vermeiden!

Grundsätzlich im Reinraum Handschuhe und falls erforderlich (z. B. Bartträger, kritische Prozessschritte) Mundschutz tragen!

Den Arbeitsplatz stets aufgeräumt und gesäubert hinterlassen! Substrate und Chemikalien müssen weggeräumt werden!

Versuche dürfen nur in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen aufgebaut werden und müssen mit Name und Datum gekennzeichnet sein!

Substrate und Dokumente müssen einer Laufkarte oder einem Mitarbeiter zuzuordnen sein!

Schnelles Gehen und hektische Bewegungen unbedingt vermeiden!

Für die Dokumentation darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden!

Dokumente und Substrate

Im Reinraum darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden. Dieses ist im IMT-Lager vorrätig. Zulässig ist auch Normalpapier, das in Plastikfolie eingeschweißt ist. Alle schriftlichen Dokumentationen erfolgen auf Reinraumpapier und tragen den Namen des verantwortlichen Mitarbeiters und das Erstelldatum.

Kleinere Gegenstände wie Laufkarten oder Waferboxen werden in staubfreiem Zustand über die zwischen Raum 140 und 142 installierte Materialschleuse bzw. über die Schleuse von Raum 132d in den Reinraum eingebracht. Dazu können die einzuschleusenden Teile vor der Schleuse mit Stickstoff abgeblasen werden.

Die Kennzeichnung der Substrate erfolgt gemäß Arbeitsanweisung QS-Nr.: AA507.xx. Substrate müssen einer grünen oder blauen Laufkarte zuzuordnen sein. Wird eine Anlage längere Zeit mit einem Substrat belegt, wird die Laufkarte zum Anlagenbuch gelegt. So ist die Belegung für jedermann sicht- und nachvollziehbar. Substrate ohne Laufkarte dürfen jederzeit aus Anlagen entfernt werden! Nach Beendigung der Tätigkeit müssen Substrate aufgeräumt werden. Dazu gibt es Ablagen für die verschiedenen Prozessschritte oder der Reinraumverantwortliche weist für die verschiedenen Projekte Fächer oder Schubladen zu. Zur Verpackung von Proben dürfen nur dem Stand der Technik entsprechende Behältnisse verwendet werden. Substrate werden, bevor sie aus dem Reinraum gebracht werden, eingeschweißt.

Größere Gegenstände wie Neuanlagen oder Geräte dürfen nur gut gereinigt, ohne Verpackungsmaterial und nur nach Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen in den Reinraum gebracht werden.

Umgang mit Chemikalien

Die Prüfmittel des IMT sind hinsichtlich ihrer Prüffähigkeit und Genauigkeit in 5 Klassen eingeteilt.

A-Prüfmittel (Nationale Standards)
A-Prüfmittel stehen ausschließlich bei durch die DAkkS zertifizierten Kalibrierlaboren zur Verfügung.

B-Prüfmittel (IMT-Standards)
B-Prüfmittel dienen grundsätzlich nur zur Kalibrierung der IMT-Prüfmittel. Die Rückführbarkeit auf ein A-Prüfmittel muss gewährleistet sein. Im Sonderfall können B-Prüfmittel von QW mit einer schriftlichen Freigabe gemäß Formblatt QS-Nr.: FB514.xx auch für definierte Messaufgaben als C-Prüfmittel eingesetzt werden.

C-Prüfmittel
C-Prüfmittel sind diejenigen Prüfmittel, die in der Regel für die Bearbeitung von IMT-Projekten eingesetzt werden. Die Rückführbarkeit auf ein B-Prüfmittel muss gewährleistet sein.

C*-Prüfmittel
Die C*-Prüfmittelklasse entspricht hinsichtlich Prüffähigkeit und Genauigkeit der C-Prüfmittelklasse. C*-Prüfmittel sind diejenigen Prüfmittel, die mit Prüfnormalen kalibriert werden, die keine „IMT-Standards“ sind. Sie werden von QW mit einer schriftlichen Sonderfreigabe gemäß Formblatt QS-Nr.: FB524.xx klassifiziert und für die Bearbeitung von IMT-Projekten eingesetzt. Eine detaillierte Beschreibung der jeweils angewandten Kalibriermethode und der verwendeten Prüfnormale muss im Anlagenbuch dokumentiert sein. Die Sonderfreigabe erfolgt einmalig und unbefristet. Eine Änderung der angewandten Kalibriermethode und/oder der verwendeten Prüfnormale bedingt eine neue Sonderfreigabe.

D-Prüfmittel
D-Prüfmittel sind alle Prüfmittel, die nicht der Prüfmittelklasse A-, B-, C- oder C*- zugeordnet sind. Sie unterliegen nur der Instandhaltung und müssen nicht kalibriert werden.

Die zeitliche Abfolge der Kalibrierarbeiten erfolgt in festgeschriebenen Intervallen, die vom PMV/KAV festgelegt und durch QW im Wartungsplan QS-Nr.: PL502.xx für die PM dokumentiert und überwacht wird. Für die Durchführung der Kalibrierung steht ein Monat, der so genannte Fälligkeitsmonat, zur Verfügung. Innerhalb des Fälligkeitsmonats sollte die Kalibrierung durch den KAV erledigt werden. Zur Durchführung von Kalibrierungen wird das PM vom KAV mit dem Aufkleben einer roten Gesperrt-Plakette und durch einen Eintrag in der Prüfmittelkarte des Anlagenbuches gesperrt. PM mit überschrittenem Kalibrierintervall oder Fälligkeitsmonat gelten automatisch als gesperrt.
Die Kalibrierung kann intern bzw. extern erfolgen. Intern bedeutet, dass die Maßnahmen für die Kalibrierung in der Regel durch den KAV bzw. durch einen durch den KAV bestimmten Ausführenden im IMT durchgeführt werden. Die für ein PM spezifisch durchzuführenden Maßnahmen und deren zeitliche Abfolge sind durch den KAV als „Kalibrieranweisung“ im Formblatt QS-Nr.: FB504.xx dokumentiert. Der Ausführende führt die im Formblatt QS-Nr.: FB504.xx dokumentierten Maßnahmen durch, protokolliert die Durchführung im Formblatt QS-Nr.: FB506.xx und bestätigt per Unterschrift. Das Formblatt QS-Nr.: FB505.xx wird dann zusammen mit dem Anlagenbuch vom Ausführenden an QW zur formalen Freigabe des PM weitergereicht. Extern bedeutet, dass die Kalibrierung eines PM durch eine dazu geeignete Kalibrierstelle innerhalb oder außerhalb des IMT durchgeführt wird. Zur formalen Freigabe des PM reicht der Ausführende das Kalibrierzertifikat der Kalibrierstelle und das Anlagenbuch an QW weiter.
B-Prüfmittel werden prinzipiell extern bei einer durch die DAkkS zertifizierten Kalibrierstelle kalibriert. C-Prüfmittel können intern mittels eines B-Prüfmittels oder extern kalibriert werden. Bei einer externen Kalibrierung muss die externe Kalibrierstelle auf Nationale Standards rückführbare Prüfnormale zur Kalibrierung einsetzen. C*-Prüfmittel werden nur intern kalibriert.

Nutzung von Fertigungs- und Prüfmitteln

Bei einer internen Instandhaltung überprüft QW die vom Ausführenden protokollierte Durchführung der Wartungs- und Inspektionsmaßnahmen gemäß der „Wartungsanweisung“, bzw. die ggf. protokollierte Durchführung von Instandsetzungsmaßnahmen im Formblatt QS-Nr.: FB505.xx. Im Falle einer externen Instandhaltung überprüft QW das Protokoll der Servicefirma. Bei positiver Entscheidung wird die Freigabe des FM/PM von QW in der FMK/PMK dokumentiert und eine Freigabeplakette für das nächste Wartungsintervall ausgestellt. Anschließend aktualisiert QW den Wartungsplan QS-Nr.: PL501.xx. Bei negativer Entscheidung bleibt das FM/PM gesperrt, bis die Gründe für die Sperrung unter Durchführungsverantwortung des FMV/PMV beseitigt sind. Danach beantragt der FMV/PMV die Aufhebung der Sperrung des FM/PM erneut bei QW. In begründeten Ausnahmefällen kann QW mit dem Formblatt QS-Nr. FB514.xx auch eine zeitlich befristete oder für einen bestimmten Zweck bestimmte Sonderfreigabe oder falls die FM/PM mehrere Funktionen erfüllen, eine Teilfreigabe für eine bzw. einzelne Funktionen, erteilen. Sonder- und Teilfreigabe werden von QW in der FMK/PMK dokumentiert. Die Freigabeplakette erhält dann im Falle einer Sonderfreigabe die zusätzliche Kennzeichnung „SF“ und bei einer Teilfreigabe die Kennzeichnung „TF“ (siehe Anlage 3).

Abfallentsorgung

Bei einer internen Kalibrierung überprüft und bewertet (siehe Tabelle 1) QW die vom Ausführenden protokollierte Durchführung der Kalibrierung gemäß der „Kalibrieranweisung“ im Formblatt QS-Nr.: FB506.xx. Im Falle einer externen Kalibrierung überprüft und bewertet (siehe Tabelle 1) QW das Kalibrierzertifikat der externen Kalibrierstelle im Formblatt QS-Nr.: FB506.xx. Bei positiver Entscheidung wird die Freigabe und Bewertung des PM von QW in der PMK dokumentiert und eine Freigabeplakette für das nächste Kalibrierintervall ausgestellt. Anschließend aktualisiert QW den Kalibrierplan QS-Nr.: PL502.xx. Bei negativer Entscheidung bleibt das PM gesperrt, bis die Gründe für die Sperrung unter Durchführungsverantwortung des KAV beseitigt sind. Danach beantragt der KAV die Aufhebung der Sperrung des PM erneut bei QW. In begründeten Ausnahmefällen kann QW mit dem Formblatt QS-Nr. FB514.xx auch eine zeitlich befristete oder für einen bestimmten Zweck bestimmte Sonderfreigabe oder falls das PM mehrere Funktionen erfüllt, eine Teilfreigabe für eine bzw. einzelne Funktionen, erteilen. Sonder- und Teilfreigabe werden von QW in der PMK dokumentiert. Die Freigabeplakette erhält dann im Falle einer Sonderfreigabe die zusätzliche Kennzeichnung „SF“ und bei einer Teilfreigabe die Kennzeichnung „TF“ (siehe Anlage 3).

Status	Bezeichnung	Kriterium	Bemerkung
0	IMT-Standard	Alle Toleranzen werden eingehalten Externe Kalibrierung mit A-PM	Betrifft B-PM
1	frei einsatzfähig	Alle Toleranzen werden eingehalten Externe oder interne Kalibrierung mit B-PM	Betrifft C- und C*-PM
2	bedingt einsatzfähig	Mindestens ein Toleranzwert wird überschritten	Betrifft C- und C*-PM Freigabeplakette mit "TF"
3	gesperrt (vorübergehend)	Wartungs- und/oder Kalibrierintervall ist überschritten Auftreten eines Funktionsfehlers Ein Toleranzwert wird überschritten	Betrifft B-, C-, C*- und D-PM
4	nicht kalibriert	Es findet nur eine Wartung, jedoch keine Kalibrierung statt	Betrifft B-PM
5	dauerhaft gesperrt	PM kann nicht instandgesetzt werden PM wird nicht weiter verwendet	Betrifft B-, C-, C*- und D-PM

Tabelle 1: Prüfmittelstatus

Mitgeltende Unterlagen

• Formblatt 501
• Formblatt 502
• Formblatt 503
• Formblatt 504
• Formblatt 505
• Formblatt 506
• Formblatt 514
• Formblatt 515
• Formblatt 524
• Formblatt 607
• Plan 501
• Plan 502
• Liste 501
• Liste 502
• Prozess 4
• Prozess 7
• Spezifikation 590

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Anlagenbuch, A-Prüfmittel, B-Prüfmittel, Basisaufkleber, C-Prüfmittel, C*-Prüfmittel, D-Prüfmittel, Fälligkeitsmonat, Fertigungsmittel, Fertigungsmittelmanagement, Fertigungsmittelnummer, Fertigungsmittelverantwortlicher, Freigabe, Freigabeplakette, IMT-Standard, Inspektion, Instandhaltung, Instandsetzung, Kalibrieren, Kalibrieranweisung, Kalibrierintervall, Kalibrierprotokoll, Kalibrierverantwortlicher, Kalibrierzertifikat, Nationale Standards, Prüfmittel, Prüfmittelmanagement, Prüfmittelnummer, Prüfmittelstatus, Prüfmittelverantwortlicher, Prüfnormal, Sonderfreigabe, Sperrplakette, Teilfreigabe, Wartung, Wartungsanweisung, Wartungsintervall, Wartungsprotokoll