User:Kira.Koehnle: Difference between revisions
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Kira Köhnle
Fachbereich: F&E7
Raum: 222
Telefon: 29239
e-mail: kira.koehnle@kit.edu
Promotion
- Doktorand am IMT seit: April 20112
- Thema: Nanophotonische und nanoplasmonische Bauteile und deren Herstellung
- Unterthemen:
- Herstellung und Charakterisierung von "Sub-wavelength Grating Waveguides"
- Herstellung von Ringresonatoren in Siliziumnitrid
- Einführung Negativlack für Elektronenstrahllithographie am IMT
- Proximity-Korrektur-Strategie
- Bisherige Studenten
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - März bis Juni 2013
- Veröffentlichungen: Noch keine
- Teilnahme an Konferenzen, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14. - 15. März 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
Fertigungsmittel
- HMDS-Ofen Star-2000
- Spincoater (OPTIcoat ST22+)
- VISTEC_VB6 (nicht im Problemfall, nur wenn's läuft)
- Ultraschall- und Megaschall
- Plasmaverascher 4TEC
- Ofen für hohe Temperaturen in Bau 321 (Oxidation von Silizium bei 900-1000°C)
Prüfmittel
- Dektac
- Tencor
- Lichtmikroskop neben REM
- Supra-REM
- Ellipsometer (Reinraum und Bau 321)
Prozesse
- Elektronenstrahllithographie (komplette Prozesskette)
- Spin-coating, speziell von kleinen Chips Aufschleudern/Spin coating
- Trockenätzen für Silizium und Siliziumnitrid
- Schwefelsäure
- Reinigungsprozesse
Software
- CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen)
- Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen)
- Inkscape
Weitere Aufgaben am IMT
- Aktueller Doggiesprecher zusammen mit Radwan
English version
- With the institute since April 2012
- Topic: Nanophotonic and nanoplasmonic devices and their fabrication
- Subtopics:
- Fabrication and characterization of "Sub-wavelength Grating Waveguides"
- Fabrication of ring resonators in silicon-rich silicon nitride
- Testing of negative resists for the IMT
- Proximity correction mechanism
- Students
- Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
- Han Yu (Internship) - March to June 2013
- Papers: --
- Konferences, Workshops:
- Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. March 2013)
- CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
