Sputteranlage UNIVEX 500

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Gerätebezeichnung: Sputteranlage UNIVEX 500

Geräteverantwortliche/Operateure: Uwe Köhler/ Birgit Hübner

Standort: Bau 309, Raum

Prüfmittel/Fertigungsnummer: SA 0818

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Die Anlage dient zum Kohlenstoff(C) - sputtern für Trennschichten.

Spezifikationen des Geräts

Prozessgas: Argon

Zum Belüften der Vakumanlage dient Stickstoff.

Etablierte Prozesse

Si-Substrate (versehen mit 1% SiO2) werden mit ca. 50 nm Kohlenstoff (C) beschichtet.

Einschränkungen

Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?

Eingewiesene Nutzer

Köhler, Uwe

Hübner, Birgit

Kategorie:Geräte - Devices Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment