Haftung - adhesion

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Mit Haftung (Adhäsion) ist im Bereich der Mikrostrukturtechnik meistens die Haftung zwischen Trägersubstrat und Mikrostrukturen gemeint. Dazu zählt die Haftung zwischen

• Trägersubstrat und Resist
• Trägersubstrat und Metall

Haftung ist eines der zentralen Themen der Mikrostrukturtechnik. Herausforderungen sind:

• dauerhaft ausreichende Haftung
• ggf. Wiederablösen nach bestimmtem Prozessschritt