RIE Plasmalab 80 Plus

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Die RIE80+ ist ein Gerät zum Reaktiven Ionenätzen mittels Sauerstoff oder Argon. Die Anlage verfügt über ein gerichtetes Plasma, im Gegensatz zur 4TEC.

Funktionen

  • Gase: Sauerstoff, Argon

Standort

Im R.142 (Reinraum) vor dem Eingang zur Gold-Galvanik.

Eingewiesene Personen

Alternativen

Für die Strukturierung von Materialien, isb. Silzium, bietet die RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100 Anlage eine größere Auswahl an Prozessgasen sowie die Möglichkeit der Substratkühlung.

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