Sputter-Anlage

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Gerätebezeichnung: Sputter-Anlage

(Geräteverantwortliche)/Operateure: /Gültig, Marcel

Standort: B301, R202

Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Sputter-Anlage zur Gold-Beschichtung.

Beschichtung

Vorbereitung

• Probe einlegen
• sicherstellen, dass Nadelventil für Argon am Glaszylinder der Anlage geschlossen ist
• Hauptventile für Argon und Wasser öffnen
• Sputterzeit einstellen (in Sekunden)
• Emisionsregler auf 0 stellen
• Hauptschalter einschalten (MAIN -> on)
• Drehschalter auf grün stellen (auf dem Arm oberhalb des Glaszylinders)
• warten bis IKR leuchtet

Start

• mittels des Nadelventils Argon einlassen (ca. 5 · 10^-2 mbar)
• START drücken und sofort Emissionsregler auf den gewünschten Wert einstellen, z.B. 50mA

!! bei Plasma Flackern Argon Nadelventil weiter öffnen !!

Ende

• Emissionsregler zurück auf 0 setzten
• Argon Nadelventil schließen
• Hauptschalter ausschalten (MAIN -> off)
• Probe entnehmen (Glaszylinder belüftet sich automatisch)
• Hauptventile für Argon und Wasser schließen

Einschränkungen

kein Hochvakuum, daher eingeschränkte Reinheit, keine Rotataion der Probe während Beschichtung, daher eventuell erhöhte Inhomogenität, allg. eher ungeeignet zum Aufbringen von Gold geringer Schichtdicke.

Eingewiesene Nutzer

Gültig, Marcel Ossmer, Hinnerk