User:Kira.Koehnle

Kira Köhnle

Funktionsbereich: F&E3-TN

Raum: 222

Telefon: 29239

e-mail: kira.koehnle@kit.edu

Promotion

• Doktorand am IMT seit: April 2012
• Thema: Nanophotonische und nanoplasmonische Bauteile und deren Herstellung
• Unterthemen:
  • Herstellung und Charakterisierung von "Sub-wavelength Grating Waveguides"
  • Herstellung von Ringresonatoren in Siliziumnitrid
  • Einführung Negativlack für Elektronenstrahllithographie am IMT
  • Proximity-Korrektur-Strategie
  • Herstellung plasmonischer MZ-Modulatoren
• Bisherige Studenten
  • Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
  • Han Yu (Internship) - März bis Juni 2013
  • Ibrahim Kharrat (Internship - Sommer 2013
• Veröffentlichungen: --
• Teilnahme an Konferenzen, Workshops:
  • Genisys Beammeeting in Freiburg (14. - 15. März 2013)
  • CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)
  • Oxford Usermeeting 2013 an der TU München
  • Genisys Beammeeting in Freiburg (2014)

Fertigkeiten/Kenntnisse

Geräte

Fertigungsmittel

• HMDS-Ofen Star-2000
• Spincoater (OPTIcoat ST22+)
• VISTEC_VB6 (nicht im Problemfall, nur wenn's läuft)
• Ultraschall- und Megaschall
• Plasmaverascher 4TEC
• Ofen für hohe Temperaturen in Bau 321 (Oxidation von Silizium bei 900-1000°C)

Prüfmittel

• Dektac
• Tencor
• Lichtmikroskop neben REM
• Supra-REM
• Ellipsometer (Reinraum und Bau 321)

Prozesse

• Elektronenstrahllithographie (komplette Prozesskette)
• Spin-coating, speziell von kleinen Chips Aufschleudern/Spin coating
• Trockenätzen für Silizium und Siliziumnitrid
• Schwefelsäure
• Reinigungsprozesse

Software

• CST Microwavestudio (Simulation von Wellenleiterstrukturen)
• Phoenix Mask Engineer (Design von photonischen Bauteilen)
• Inkscape

Weitere Aufgaben am IMT

• Ehemaliger Doggiesprecher zusammen mit Radwan

English version

• With the institute since April 2012
• Topic: Nanophotonic and nanoplasmonic devices and their fabrication
• Subtopics:
  • Fabrication and characterization of "Sub-wavelength Grating Waveguides"
  • Fabrication of ring resonators in silicon-rich silicon nitride
  • Testing of negative resists for the IMT
  • Proximity correction mechanism
• Students
  • Andrew Katumba (Internship) - Aug/Sep 2012
  • Han Yu (Internship) - March to June 2013
• Papers: --
• Konferences, Workshops:
  • Genisys Beammeeting in Freiburg (14-15. March 2013)
  • CFN Summer school Nano-Photonics (10. - 13. September 2012)