User:Christian.Lay: Difference between revisions
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Herstellung und Charakterisierung von Bimorph Nanoaktoren aus Silizium und Formgedächtnislegierungen sowie Entwicklung eines integrierten Sensorkonzepts zur Auslenkungsdetektion. |
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Christian Lay
Funktionsbereich: FuE1-SMD
Aufgabengebiet: Entwicklung eines magnetischen Nanoaktor-Sensor-Systems
Raum: B307 R229
Telefon: 24684
e-mail: c.lay@kit.edu
Stellvertreter:
Tätigkeitsbeschreibung
Herstellung und Charakterisierung von Bimorph Nanoaktoren aus Silizium und Formgedächtnislegierungen sowie Entwicklung eines integrierten Sensorkonzepts zur Auslenkungsdetektion.
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100
- Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP
- Kleindiek Nanomanipulator
- Westbond Wedge-Wedge Bonder
- Dimension Icon Rasterkraftmikroskop
- Scanning Probe Microscope D3100S
Prozesse
- RIE: Silizium Cryo-Prozess
- RIE: Isotropes Unterätzen
- Kleindiek Nanomanipulator: Kraft+Widerstandsmessungen
- Dimension Icon Rasterkraftmikroskop: Magnetic Force Microscopy
Software
- Octave/Matlab
- Labview
- ImageJ
Materialien
- Silizium
- Titan
- NiMnGa Formgedächtnislegierung
- AZ1505 Photoresist
- AZ4533 Photoresist
Weitere Aufgaben am IMT
- Wiki-Admin
- Verwaltung der Institutskamera