Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP

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Gerätebezeichnung: Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP

Geräteverantwortliche/Operateure: Paul Abaffy

Standort: R. 146 (Reinraum)

Prüfmittel/Fertigungsnummer: XXXX

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Neues REM

Spezifikationen des Geräts

(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen

Etablierte Prozesse

Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).

Einschränkungen

Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?

Eingewiesene Nutzer

• Abaffy, Paul
• Bacher, Andreas
• Köhnle, Kira
• Lambrecht, Franziska
• Meyer, Pascal
• Walter, Marco
• Dottermusch, Stephan