Kleberoboter: Difference between revisions
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== Kurzbeschreibung == |
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Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. |
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Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665) |
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== Alternativen == |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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Argon dient als Prozessgas. |
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Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben. |
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Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert. |
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Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, |
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Genauigkeit: +- 0,01 mm |
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== Etablierte Prozesse == |
== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind: |
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* 4", 6" - Si-Wafer |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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* 4" - Keramikwafer |
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* 4" - Glaswafer |
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Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden. |
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Standardgrößen der Resistfolien sind: |
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* 75 x 30 mm² |
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* 63 x 23 mm² |
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* runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm² |
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* kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm² |
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Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet. |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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[[User:Birgit.Huebner | Hübner, Birgit]] |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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[[User:Julia.Wolf | Wolf, Julia]] |
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[[Category:Geräte - Devices]] |
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[[Category:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment]] |
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Latest revision as of 00:51, 19 November 2016
Gerätebezeichnung: Kleberoboter JR 2400
Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner
Standort: Bau 307 Raum 132c
Prüfmittel/Fertigungsnummer: VS 0829
Spezifikations-Nummer: SP-280309
Kurzbeschreibung
Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665)
Spezifikationen des Geräts
Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben.
Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert.
Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, Genauigkeit: +- 0,01 mm
Etablierte Prozesse
Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind:
- 4", 6" - Si-Wafer
- 4" - Keramikwafer
- 4" - Glaswafer
Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden.
Standardgrößen der Resistfolien sind:
- 75 x 30 mm²
- 63 x 23 mm²
- runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm²
- kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²
Einschränkungen
Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet.
