Kleberoboter
Gerätebezeichnung: Kleberoboter JR 2400
Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner
Standort: Bau 307 Raum 132c
Prüfmittel/Fertigungsnummer: VS 0829
Spezifikations-Nummer: SP-280309
Kurzbeschreibung
Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) der Firma GLT - Pforzheim und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA 665)
Spezifikationen des Geräts
Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben.
Mittels der Software: JR Points Version 4.6 wird der Roboter programmiert.
Arbeitsbereich: 400 x 400 x150 mm, Genauigkeit: +- 0,01 mm
Etablierte Prozesse
Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind:
- 4", 6" - Si-Wafer
- 4" - Keramikwafer
- 4" - Glaswafer
Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden.
Standardgrößen der Resistfolien sind:
- 75 x 30 mm²
- 63 x 23 mm²
- runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm²
- kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²
Einschränkungen
Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet.
