4W-CryoVac: Difference between revisions
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Genauer: Die Probe wird mittels spezieller Messköpfe kontaktiert. Die Messköpfe bestehen aus je vier gespannten Kupferstäben (4-Punkt-Messung), deren Durchmesser sowie Abstand von Kopf zu Kopf variiert um verschiedenen Probengeometrien abzudecken, siehe Abbildung. Durch aktive Kühlung mit flüssigen Stickstoff, der mittels einer Pumpe durch die Anlage befördert wird, sind Temperature <-150°C möglich; die Maximaltemperatur liegt etwa bei +300°C. |
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Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird zuvor mit Wärmeleitfähigkeitsgel bestrichen und mit dem passenden Messkopf kontaktiert. (An dieser Stelle bietet sich an die Kontaktierung der äußeren sowie der inneren Kontakte zu überprüfen.) Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe kann der Stickstoff angeschlossen werden sowie die Stickstoffpumpe gestartet werden. Die Regelung des Stickstoffpumpen-Ventils sowie der Heizleistung geschieht automatisch durch die Einstellungen im Programm. |
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Kontaktschwierigkeiten bei sehr dünnen Proben (<500nm Schichtdicke). In diesem Fall werden gelötete Steckverbindungen genutzt, die per Wirebonding mit der Oberfläche verbunden sind. |
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== Alternativen == |
== Alternativen == |
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[[CryoVac]] |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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[[User:Gowtham.Arivanandhan|Gowtham Arivanandhan]], [[User:Lena.Seigner|Lena Seigner]], [[User:Kiran.Jacob|Kiran Jacob]] |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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[[Category:Geräte - Devices]] |
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Latest revision as of 15:50, 7 January 2021
Gerätebezeichnung: 4W-CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Joel Joseph
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes in Abhängigkeit der Temperatur. Genauer: Die Probe wird mittels spezieller Messköpfe kontaktiert. Die Messköpfe bestehen aus je vier gespannten Kupferstäben (4-Punkt-Messung), deren Durchmesser sowie Abstand von Kopf zu Kopf variiert um verschiedenen Probengeometrien abzudecken, siehe Abbildung. Durch aktive Kühlung mit flüssigen Stickstoff, der mittels einer Pumpe durch die Anlage befördert wird, sind Temperature <-150°C möglich; die Maximaltemperatur liegt etwa bei +300°C.
Messung
Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird zuvor mit Wärmeleitfähigkeitsgel bestrichen und mit dem passenden Messkopf kontaktiert. (An dieser Stelle bietet sich an die Kontaktierung der äußeren sowie der inneren Kontakte zu überprüfen.) Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe kann der Stickstoff angeschlossen werden sowie die Stickstoffpumpe gestartet werden. Die Regelung des Stickstoffpumpen-Ventils sowie der Heizleistung geschieht automatisch durch die Einstellungen im Programm.
Einschränkungen
Kontaktschwierigkeiten bei sehr dünnen Proben (<500nm Schichtdicke). In diesem Fall werden gelötete Steckverbindungen genutzt, die per Wirebonding mit der Oberfläche verbunden sind.
