4W-CryoVac
Gerätebezeichnung: 4W-CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Joel Joseph
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes in Abhängigkeit der Temperatur. Genauer: Die Probe wird mittels spezieller Messköpfe kontaktiert. Die Messköpfe bestehen aus je vier gespannten Kupferstäben (4-Punkt-Messung), deren Durchmesser sowie Abstand von Kopf zu Kopf variiert um verschiedenen Probengeometrien abzudecken, siehe Abbildung. Durch aktive Kühlung mit flüssigen Stickstoff, der mittels einer Pumpe durch die Anlage befördert wird, sind Temperature <-150°C möglich; die Maximaltemperatur liegt etwa bei +300°C.
Messung
Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird zuvor mit Wärmeleitfähigkeitsgel bestrichen und mit dem passenden Messkopf kontaktiert. (An dieser Stelle bietet sich an die Kontaktierung der äußeren sowie der inneren Kontakte zu überprüfen.) Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe kann der Stickstoff angeschlossen werden sowie die Stickstoffpumpe gestartet werden. Die Regelung des Stickstoffpumpen-Ventils sowie der Heizleistung geschieht automatisch durch die Einstellungen im Programm.
Einschränkungen
Kontaktschwierigkeiten bei sehr dünnen Proben (<500nm Schichtdicke). In diesem Fall werden gelötete Steckverbindungen genutzt, die per Wirebonding mit der Oberfläche verbunden sind.
