CryoVac: Difference between revisions
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Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes sowie der Auslenkung in Abhängigkeit der Temperatur. Durch Kühlung mit flüssigen Stickstoff (nicht aktiv!) sind Temperature bis -100°C möglich jedoch mit langen Wartezeiten verknüpft. |
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An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich. Für den MicroWatcher sind Linsen mit verschiedene Vergrößerungen vorhanden (50-, 100-, 200- und 500-fache Vergrößerung). Es besteht zudem die Möglichkeit zwei Kreuze zur Abstandsmessung zu positionieren (Kalibrieren!). Durch Öffnen/Schließen des Stickstofftank-Ventils bzw. durch Einstellen der Soll-Temperatur am Temperturregelinstrument kann die Temperatur variiert werden. Ein Zyklus von -50°C bis +50°C dauert etwa 45 min. Die Aufzeichnung der Auslenkung sowie des Widerstandes ist derzeit nur von Hand möglich. (Unter anderem weil das Bild sehr stark driftet und somit der Bildbereich die Probe während eines Zyklus mind. einmal verlässt.) |
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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== Einschränkungen == |
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Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend große Ungenauigkeit. |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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== Einschränkungen == |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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für Widerstandsmessung: [[4W-CryoVac]] |
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== Eingewiesene Nutzer == |
== Eingewiesene Nutzer == |
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[[User:Marcel.Gueltig|Gültig, Marcel]] [[User:Franziska.Lambrecht|Lambrecht, Franziska]] |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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[[Category:Geräte - Devices]] |
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Latest revision as of 20:06, 19 November 2016
Gerätebezeichnung: CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Gueltig, Marcel
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes sowie der Auslenkung in Abhängigkeit der Temperatur. Durch Kühlung mit flüssigen Stickstoff (nicht aktiv!) sind Temperature bis -100°C möglich jedoch mit langen Wartezeiten verknüpft.
Messung
An der Probe werden zuvor 4 Kontakte angebracht die zur 4-Punkt-Messung dienen. Die Keramik auf der sich die Probe befindet wird daraufhin mit Wärmeleitfähigkeitspaste bestrichen und in die dafür vorgesehen Vorrichtung eingeklemmt. Nach Schließung der Anlage und starten der Vakuumpumpe wird der MikroWatcher auf die Probe fokussiert, somit ist die Messung des Widerstandes parallel zur Auslenkung möglich. Für den MicroWatcher sind Linsen mit verschiedene Vergrößerungen vorhanden (50-, 100-, 200- und 500-fache Vergrößerung). Es besteht zudem die Möglichkeit zwei Kreuze zur Abstandsmessung zu positionieren (Kalibrieren!). Durch Öffnen/Schließen des Stickstofftank-Ventils bzw. durch Einstellen der Soll-Temperatur am Temperturregelinstrument kann die Temperatur variiert werden. Ein Zyklus von -50°C bis +50°C dauert etwa 45 min. Die Aufzeichnung der Auslenkung sowie des Widerstandes ist derzeit nur von Hand möglich. (Unter anderem weil das Bild sehr stark driftet und somit der Bildbereich die Probe während eines Zyklus mind. einmal verlässt.)
Einschränkungen
Temperaturmessung derzeit nicht direkt an der Probe, dementsprechend große Ungenauigkeit.
Alternativen
für Widerstandsmessung: 4W-CryoVac
