Category:Positivresist - positive resist: Difference between revisions
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Latest revision as of 19:11, 19 November 2016
Positivresiste sind neben den Negativresisten eine Untergruppe der Resiste.
Bei Belichtung werden die Polymerketten aufgebrochen, der Resist wird löslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden so die belichteten Bereiche herausgelöst.
Diese Seite listet die am IMT verwendeten Positivresiste auf.
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